识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明1/24[Table_Page]深度分析专用设备证券研究报告[Table_Title]光伏设备行业之一TOPCon继往开来，22年扩产有望加速[Table_Summary]核心观点：⚫TOPCon继承了PERC大部分的设备和技术积累，为最适合现有生产体系升级的技术。TOPCon一般使用N型硅片，在PERC基础上增加了隧穿氧化层（SiOx）和掺杂多晶硅层（POLY-Si），只需要增加相关的氧化设备和掺杂设备，并将磷扩改成硼扩即可，PERC产线的设备和技术工艺积累可以极大程度的继承，对行业内现有的电池片生产商较为有利，而近年的新建PERC产线大多为TOPCon升级留有空间。⚫TOPCon技术相对成熟，22年有望成为爆发元年。根据晶科能源公众号的披露，22年1月安徽晶科能源一期8GWTOPCon电池片产线实现贯通投产；根据先导智能公众号的披露，22年1月先导智能为无锡尚德定制的行业首个GW级数字化TOPCon高效光伏电池智能产线首片下线，多条大GW级别的产线投入显示TOPCon技术相对成熟，大规模投入有望到来，根据我们统计，行业内TOPCon的规划超过100GW，我们预计22年行业TOPCon的扩产规模有望超过30GW。⚫TOPCon技术方案多样，电池端产业链地位有望加强。与PERC、HJT较为单一的技术路线不同，TOPCon有LPCVD、PECVD、PVD、PEALD等技术路线，设备厂商提出各自的技术方案，诸如捷佳伟创基于PECVD的“三合一”设备、拉普拉斯基于LPCVD的方案、微导基于PEALD的方案等，而电池片厂商由整线购买向分环节购买“攒”产线转变，电池片端专有技术将增加，技术话语权在光伏产业链中的地位预计将有所增强，有望使得电池片环节迈入良性发展的轨道。⚫硅料产能逐步释放，电池片环节盈利有望持续改善，电池端资本开支有望上行。21年受制于硅料紧缺、硅料价格高企，电池片环节盈利承压，对电池片环节的资本开支形成一定压制，随着22年硅料产能的逐步释放，硅料价格有望迈入下降通道，电池片环节的盈利将逐步改善，对电池片设备的需求预计将有所回升，相关环节将受益。⚫重点推荐技术领先、与下游厂商紧密合作的龙头，重点推荐捷佳伟创、迈为股份，重点关注帝尔激光。生产厂商进行技术攻坚需要设备厂商的配合，而在共同开发的过程中，设备厂商将掌握大量的KnowHow，技术领先优势将进一步夯实，将率先享受行业增长的红利。捷佳伟创实现PERC+/TOPCon/HJT设备全覆盖，已具备HJT整线能力，并获得TOPCon近30GW订单；迈为股份在HJT设备方面领先明显，21年实现出口，技术实力获认可；帝尔激光为光伏激光设备龙头，激光转印技术获得突破，在光伏激光设备领域领先优势明显。⚫风险提示。电池技术提效降本不及预期的风险；行业竞争加剧的风险；技术迭代对不同设备影响的风险；需求波动的风险；贸易摩擦的风险。[Table_Grade]行业评级买入前次评级买入报告日期2022-02-08[Table_PicQuote]相对市场表现[Table_Author]分析师：代川SAC执证号：S0260517080007SFCCENo.BOS186021-38003678daichuan@gf.com.cn分析师：朱宇航SAC执证号：S0260520120001021-38003676zhuyuhang@gf.com.cn请注意，朱宇航并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。[Table_DocReport]相关研究：专用设备行业:光伏设备捷报频传，异质结进程有望加速2021-08-19专用设备行业:产业投资来势汹汹，HJT蓄势待发2021-08-01[Table_Contacts]联系人：王宁021-38003627shwangning@gf.com.cn-18%-13%-7%-2%4%9%02/2104/2106/2108/2110/2112/2102/22专用设备沪深300识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明2/24[Table_PageText]深度分析专用设备[Table_impcom]重点公司估值和财务分析表股票简称股票代码货币最新最近评级合理价值EPS(元)PE(x)EV/EBITDA(x)ROE(%)收盘价报告日期（元/股）2021E2022E2021E2022E2021E2022E2021E2022E捷佳伟创300724.SZCNY79.652021/12/15买入173.802.303.1634.6325.2131.2422.4820.9022.20迈为股份300751.SZCNY490.832021/04/27买入615.9210.2713.4447.7936.5281.7362.9225.1024.80晶盛机电300316.SZCNY55.812021/11/01买入97.801.261.6344.2934.2436.4628.2723.5023.40数据来源：Wind、广发证券发展研究中心备注：表中估值指标按照最新收盘价计算识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明3/24[Table_PageText]深度分析专用设备目录索引一、TOPCON继往开来，技术路线多样化........................................................................5二、TOPCON技术方案多点开花，设备厂商争奇斗艳....................................................14三、硅料产能释放，电池片盈利回升，资本开支望上行..................................................16四、推荐标的：技术路线多点开花，设备厂商各有千秋..................................................18（一）捷佳伟创：多路线布局，有望受益于行业扩产进程......................................18（二）迈为股份：国际HJT设备领先企业，率先受益于HJT扩产进程..................19（三）帝尔激光：光伏激光设备龙头，技术持续突破..............................................20五、风险提示....................................................................................................................22（一）电池技术提效降本不及预期的风险................................................................22（二）行业竞争加剧的风险......................................................................................22（三）技术迭代对不同设备影响的风险...................................................................22（四）下游需求波动的风险......................................................................................22（五）贸易摩擦的风险.............................................................................................22识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明4/24[Table_PageText]深度分析专用设备图表索引图1：N型TOPCon电池结构...............................................................................5图2：晶科能源组件功率与组件效率.....................................................................7图3：TOPCon电池主要技术方案.........................................................................8图4：P型TOPCon电池结构.............................................................................10图5：近年硅料价格（元/kg）与电池片价格（元/W）变化情况.........................16图6：爱旭股份毛利率与净利率情况...................................................................17图7：捷佳伟创产品谱系......................................................................................18图8：捷佳伟创营业收入与净利润变化情况.........................................................19图9：捷佳伟创毛利率与净利率变化...................................................................19图10：迈为产品谱系...........................................................................................20图11：迈为营业收入与净利润变化情况..............................................................20图12：迈为毛利率与净利率变化.........................................................................20图13：帝尔激光产品...........................................................................................21图14：帝尔激光营业收入与净利润变化情况......................................................21图15：帝尔激光毛利率与净利率变化.................................................................21表1：主要技术路线理论转换效率.........................................................................5表2：PERC、TOPCon、HJT电池的工艺、生产、成本对比..............................6表3：隧穿氧化层制备方法....................................................................................8表4：掺杂硅层制备方法........................................................................................9表5：近年TOPCon转换效率纪录情况..............................................................10表6：部分主流厂商TOPCon组件产品..............................................................11表7：部分主流厂商TOPCon技术进展..............................................................11表8：TOPCon产能布局.....................................................................................12表9：部分主流设备厂商TOPCon技术方案.......................................................14表10：电池片设备市场规模估计（亿元）..........................................................15表11：近年硅料产能统计（万吨）.....................................................................17识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明5/24[Table_PageText]深度分析专用设备一、TOPCon继往开来，技术路线多样化TOPCon技术是德国Fraunhofer太阳能研究所2013年在第28届欧洲PVSEC光伏大会上首次提出的一种新型钝化接触太阳能电池。TOPCon电池在结构上与PERC电池的区别在于背面增加了超薄隧穿氧化层和多晶硅层，二者形成钝化接触结构，为硅片背面提供了良好的界面钝化。图1：N型TOPCon电池结构数据来源：《TOPCon电池效益可行性分析（王军）》，广发证券发展研究中心随着TOPCon技术的持续推进，其竞争力逐步显现，主要表现在以下三个方面：第一，转换效率较高，潜力较大。PERC目前的量产转换效率在23%左右，转换效率的提升空间已然有限，TOPCon目前的量产转换效率在24.0-24.5%左右，理论最高转换效率在28.7%，与HJT（异质结）电池28.5%的转换效率较为接近，而HJT电池的量产转换效率目前也在24.0-24.5%左右，两者较为接近。表1：主要技术路线理论转换效率ηmax[%]Se&h电子选择接触P-diffusedna-Si:H(i)/a-Si:H(n)th-SiO/poly-Si(n)PECVDth-SiO/poly-Si(n)LPCVDchem-SiOx/poly-Si(n)LPCVDSiOx/TlOx空穴选择接触Al-p24.5(PERC)26.827.127.126.324.911.712.812.91312.511.9a-Si:H(i/p)24.728.5(HJT)27.72826.825.111.813.213.313.512.812SiOx/poly-Si(p)24.928.128.328.7（TOPCon）27.325.411.913.613.814.213.112.1SiOx/SiC(p)24.92828.228.527.225.311.913.513.7141312.1a-Si:H(i)/MoOx24.426.526.626.82624.711.712.612.712.812.411.8识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明6/24[Table_PageText]深度分析专用设备MoOx14.125.92626.125.524.411.612.312.412.412.211.7PEDOT:PSS24.12626.126.226.224.511.612.412.412.512.511.7数据来源：英利能源，广发证券发展研究中心第二，与存量PERC兼容度高，能够继承PERC时代的技术积累与大部分设备。与现有PERC生产工序相比，TOPCon主要增加硼扩散和隧穿层沉积的LPCVD/PECVD/PVD等设备；同时，近两年新建大尺寸PERC产线一般预留了TOPCon的升级空间，一些厂商也专门推出了针对存量产线改造的设备，诸如捷佳伟创推出了三合一设备，并与润阳签订了5GW存量产线改造的合同。TOPCon技术可以延长现有产线的生命周期，节约资本开支。根据英利能源的数据，新建PERC产线的设备投资额为1.2-1.7亿元/GW，新建TOPCon产线设备投资额为2-2.5亿元/GW，新建HJT产线设备投资额为4-4.5亿元/GW。而若从PERC升级至TOPCon则设备投资额为0.5-0.7亿元/GW，能有效降低投资成本；此外，从行业平均的电池成本来看，TOPCon的单W成本比PERC高0.1元/W左右，而个别TOPCon先进产能的单W成本已经与PERC相当接近，HJT的单W成本比PERC高约0.2-0.3元/W，先进产能的单W成本差距可以做到0.2元/W左右。表2：PERC、TOPCon、HJT电池的工艺、生产、成本对比项目PERCTOPConHJT工艺工艺成熟度成熟较成熟技术爬坡技术难度中等比较高高电池生产主要工序数量1212.14%6（子工序多）成品率95-97%90-95%80-92%薄片适应性160-180um160-180um120-140um现有产线兼容性好较好（PERC电池预留）很差目前硅片尺寸182mm/210mm166mm/182mm158.75mm/166mm成本设备投资（亿元）1.2-1.72-2.54-4.5电池成本（元/Wp）0.971.091.28数据来源：英利能源，普乐新能源，广发证券发展研究中心第三，性价比具有一定优势。TOPCon较高的转换效率使得电池单瓦及单位面积发电量有所提升，能够有效的降低BOS成本。晶科能源N型TOPCon组件效率较现有产品进一步提升，最新N型TOPCon组件TigerNeo效率达到22.2%，功率达到620W，天合和中来均推出了700W的组件。同时，TOPCon电池具备良好的弱光效应，延迟组件日发电时长，有效降低LCOE。根据中来公众号发布的数据，考虑25年全生命周期的维度，与PERC组件相比，TOPCon组件首年衰减低1%，BOS成本低3.9%，LCOE低6.6%，发电增益高6.3%，识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明7/24[Table_PageText]深度分析专用设备经第三方检测机构TUV北德在不同反射率的地面条件下的实证发电测试发现，TOPCon组件最高可以得到30%的发电增益，若控制LCOE不变（$0.1066），与主流PERC组件对比，TOPCon组件比PERC有2.8美分/每瓦的价格优势。图2：晶科能源组件功率与组件效率数据来源：Wind，广发证券发展研究中心TOPCon技术方案多样，LPCVD较为成熟，PECVD、PVD、PEALD等各显身手，电池片环节的专有技术有望增多，竞争格局有望优化。从结构方面来看，TOPCon结构分为两层：第一层为超薄氧化硅隧穿层，厚度1-2nm，可以通过热氧、化学腐蚀方式形成。第二层是掺杂多晶硅层，可以由LPCVD、PECVD、PVD等方法制备，主要技术路线分为磷扩掺杂、离子注入掺杂、原位掺杂，与传统的扩散掺杂不同，离子注入是将杂质原子电离成带电粒子后，再用强电场加速这些粒子注入到硅基体材料中进行掺杂，但是离子碰撞会引起晶格断裂或损伤，需要退火来完成掺杂离子的去除和激活；原位掺杂是在沉积多晶硅的同时通入含有杂质的气体，使多晶硅掺杂均匀，后期也需要退火处理来达到晶化目的，PECVD、PVD多使用原位掺杂。各家电池厂商基于自身的技术积累，选择了不同的技术路线进行攻关，隆基、晶科以LPCVD为主，通威以PECVD、PEALD为主，中来以POPAID为主。我们认为与PERC和HJT较为统一的技术路线不同，TOPCon多样的技术方案使得电池厂商从以往的整线采购向分环节采购设备“攒”产线转变，有望增强电池端在产业链中的话语权，竞争格局有望优化。17.50%18.00%18.50%19.00%19.50%20.00%20.50%21.00%21.50%22.00%22.50%010020030040050060070020172018201920202021组件功率（w）组件效率EagleCheetahTigerTigerProTigerNeo识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明8/24[Table_PageText]深度分析专用设备图3：TOPCon电池主要技术方案数据来源：普乐新能源，广发证券发展研究中心隧穿氧化层的制备，热氧化法较为成熟，而PECVD法和ALD法也是目前研究的重点方向。对于隧穿氧化层的制备主要有热氧化法、PECVD、原子层沉积、湿化学法等，目前TOPCon氧化层制备主要采用热氧化法，其钝化效果最好，但反应速度较慢，热氧法所用设备为热氧化管式炉，其可以与非晶硅沉积环节设备集成；PECVD法的优势在于生长速率较快，但是钝化效果和均匀性稍差；ALD钝化效果和均匀性优于PECVD法，但是生长速率较差；湿化学法和准分子源干氢法应用较少。表3：隧穿氧化层制备方法方法热氧化法PECVD原子层沉积湿化学法准分子源干氢生长原理热氧高温下与硅基反应Plasma电离与硅基反应用三甲基硅烷原子层沉积方式生长沸腾的HNO3/H2O（68%wt）HNO3强氧化性生长准分子发射172nm紫外光分解O2，所得自由基生成O3氧化生长设备热氧化管式炉管式/板式PECVDALD槽式湿法设备槽式湿法设备优缺点1.目前钝化效果最好2.反应速度较慢1.钝化效果较热氧差2.生长速率快3.均匀性较差1.钝化效果次之2.氧化层均匀性较好3.效率验证较低1.化效果一般2.反应过程中化学组成不变可长时间使用3.生长厚度具有自限制性，工艺控制简单4.废水处理较难1.钝化效果较差2.稳定性较差工艺较难控制数据来源：拉普拉斯，广发证券发展研究中心识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明9/24[Table_PageText]深度分析专用设备掺杂多晶硅层的制备，LPCVD法为现有主流且较为成熟，PECVD法、PEALD法、PVD法也是目前研究的重点方向。对于掺杂多晶硅层，主要有4中制备方法，其中LPCVD、PECVD和PEALD属于化学沉积方式，而溅射法是属于物理气相沉积(PVD)方法。LPCVD是目前工艺较成熟的设备，具有产量高、可直接制备n型多晶硅层的优点，但会损伤石英件，石英件需要定期更换，且存在绕镀问题；PECVD法沉积速度要高于LPCVD，但其设备要求高，同时产生的膜层不致密，烧结后开压较低；PEALD则是较新的技术，采用原子层沉积原理，其沉积速率最高，但成本较高，也无法解决PECVD膜层不致密的问题；PVD的优点在于无污染，操作简单且安全，沉积速率也高于LPCVD，但缺点在于其硅靶材用量较大，成本较高，膜层均匀性相对较差，退火温度也较高。表4：掺杂硅层制备方法LPCVDPECVDPEALDPVD产能大大一般大工艺集成度高一般氧化层要单独增加工序ALD生长氧化层高钝化效果好一般一般一般沉积速率6~8nm/min16nm/min17nm/min10nm/min目前效率高低低低存在问题1.石英件损伤2.绕镀较难去除1.存在掉粉问题2.原为掺杂会导致陶瓷环石英管导电3.气泡问题4.膜层不致密，烧结后开压较低1.ALD生长氧化层BOM成本较高2.原位掺杂会导致陶瓷环导电3.气泡问题4.膜层不致密，烧结后开压较低1.硅靶材用量较大，更换频繁成本较高2.机台uptime偏低数据来源：拉普拉斯，广发证券发展研究中心除去常见的N型TOPCon电池之外，现在出现了一种基于P型硅片的TOPCon电池结构，根据中科院宁波材料所的公开资料，P型TOPCon电池正面和PERC结构一致，无需增加扩硼设备，只需增加氧化硅和多晶硅的相关设备（诸如“二合一”PECVD设备），只需有限的设备投入，非常适合现有PERC产线的升级。识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明10/24[Table_PageText]深度分析专用设备图4：P型TOPCon电池结构数据来源：中科院宁波材料所，广发证券发展研究中心从现有的转换效率纪录和厂商布局来看，由于LPCVD较为成熟，绝大部分厂商现有布局以LPCVD法为主，少部分为PECVD法；值得注意的是，宁波研究所的25.50%的转换效率是用PECVD法取得的。另外，PVD法主要是中来在布局，PEALD主要是通威、微导在主导。表5：近年TOPCon转换效率纪录情况序号公司多晶硅技术效率（%）时间电池面积（cm²）1宁波研究所PECVD25.50%2021242.772晶科LPCVD25.40%2021242.773隆基LPCVD25.21%2021242.774隆基LPCVD25.09%2021242.775晶科LPCVD24.90%2021235.86晶科LPCVD24.79%2020267.77天合LPCVD24.58%2019244.68晶科LPCVD24.20%20192449天合LPCVD23.60%201924410MeyerBurgerPECVD23.28%2019244.311中来LPCVD23.20%2019246.212FraunhoferCT板式/PECVD22.50%244.513CEA-INESLPCVD23.00%244.214ISEPECVD22.95%244.4数据来源：拉普拉斯，广发证券发展研究中心当前业内多家企业已布局TOPCon电池，推出大功率级TOPCon组件。根据2021年SNEC展会，多家厂商已推出TOPCon组件产品，量产转换效率多数已达到22%以上。识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明11/24[Table_PageText]深度分析专用设备表6：部分主流厂商TOPCon组件产品厂商TOPCon组件产品发布时间量产转换效率量产功率晶科TigerNeo202122.30%620w隆基Hi-MON202122.30%570W天合N型i-TOPCon双面双玻高效组件202122.30%700W通威叠瓦双玻TOPCon2021-695W中来NIwaMaxJW-HD120N202122.44%635WNIwaMaxJW-HD132N202122.53%700W英利N型TOPCon熊猫组件2021-415W一道DAS-DH144NA202121.70%560W晶澳N-type78CellsMBBHalfCellModule202122.10%620W数据来源：SNEC，广发证券发展研究中心TOPCon有望率先放量，22年全年产能投入有望超过30GW。根据晶科能源公众号的披露，2022年1月安徽晶科能源一期8GW新型高效电池片实现贯通投产，主要生产高效N型TOPCon电池，目前晶科TOPCon电池平均量产效率在24.5%，最高效率已经达到25.4%，该项目的投产预示着TOPCon大规模投入的条件已经较为成熟；除去晶科之外，隆基、天合、中来、晶澳等电池片厂商以及比亚迪等新晋厂商均有不同规模的投入计划，根据集邦咨询和我们的统计，目前规划的TOPCon产能超过100GW，我们预计2022年TOPCon将迎来投产高峰期，有望超过30GW。表7：部分主流厂商TOPCon技术进展（截止2021年底）厂商TOPCon进展隆基实验室转换效率25.21%，中试线量产平均效率24.5%晶科实验室转换效率25.4%，1GW产线量产平均效率24.5%，下阶段优化至25+天合宿迁500MW新中试线中来产线效率24+，研发效率24.5+，新中试线验证中晶澳科技中试线，效率24+国电投效率突破23.5+通威中试线效率24.3+LGE量产效率23.5+REC效率23.5+东方日升效率24+中利腾晖1GWTOPCon电池及组件改造项目金寨嘉悦2021年二期评估中中清评估中顺风光电效率24+，最高效率24.5%华耀项目评估中江苏潞能2021年3月开工预计扩产1GW协鑫5GW扩产计划中一道效率24+识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明12/24[Table_PageText]深度分析专用设备尚德扩产2GW与微导合作比亚迪规划产能200MW捷泰规划中试线500MW阿特斯规划中试线数据来源：拉普拉斯，广发证券发展研究中心表8：TOPCon产能布局（截止2021年底）企业产地项目状态已建（MW）在建/待建（MW）国电投西安投产400韩华韩国投产6002500鸿禧-募资2000嘉悦安徽金寨募资5000晶澳河北宁晋投产100晶科浙江海宁量产900安徽合肥投产8000浙江海宁尖山设备定标8000隆基江苏泰州投产100宁夏银川设备招标5000陕西西咸新区设备招标7500云南曲靖规划10000尚德江苏签约2000苏州潞能江苏张家港开工1000腾晖-募资1000天合江苏常州投产500江苏宿迁规划8000通威四川眉山投产1000同翎新能源江苏高邮签约5000一道浙江衢州投产1250中节能江苏规划5000中来江苏泰州投产2100安徽滁州签约10000江苏泰州开工1500中来华阳山西太原开工8000协鑫集成四川乐山募资10000钧达股份安徽滁州开工16000顺风光电-规划1000东方日升江苏金坛规划3000浙江义乌规划1000中清-规划5000无锡尚德-微导江苏无锡规划2000识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明13/24[Table_PageText]深度分析专用设备比亚迪-规划200捷泰-规划5000LGE韩国投产1500REC新加坡投产300合计16750129700数据来源：集邦咨询，摩尔光伏，拉普拉斯，广发证券发展研究中心识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明14/24[Table_PageText]深度分析专用设备二、TOPCon技术方案多点开花，设备厂商争奇斗艳TOPCon技术方案多样，设备厂商各有侧重。在PERC技术升级为TOPCon的核心3大工艺步骤中（隧穿氧化层、多晶硅层、扩散），多家厂商推出了各自的技术方案，氧化层需要新增的设备主要是氧化炉、PECVD、PEALD，隧穿氧化层一般需要增加LPCVD、PECVD，根据掺杂方案的不同，需要增加退火炉、扩散炉或者离子注入机。目前采用较多的为拉普拉斯的LPCVD方案，即隧穿氧化层用热氧（氧化炉），多晶硅层用“本征+磷扩”（LPCVD、扩散炉），该方案技术成熟，但存在产能低、良率低等问题，多晶硅层亦可用“掺杂+退火”（LPCVD、退火炉），绕镀较易清理，但是存在镀膜速率较慢、膜层均匀性等问题；捷佳伟创基于自身在PECVD方面的深厚积累，推出了“三合一”设备，实现了隧穿层、多晶硅层、原位掺杂层的制备，解决了传统TOPCon电池生产过程中绕镀、石英件高损耗的固有难点，而且新型PE-poly路线的原位掺杂时间仅为传统LP路线的五分之一；微导提出了基于PEALD的方案，隧穿氧化层采用基于PECVD的“掺杂+退火”方案，具有氧化层均匀性易控制，绕镀轻微，镀膜速率快，但是也有H含量较高，容易爆膜的问题。表9：部分主流设备厂商TOPCon技术方案供应商隧穿氧化层掺杂Poly-Si特点中来（杰太）PVDPECVD（掺杂Poly-Si）+退火成膜速度快，无绕镀红太阳热氧LPCVD（掺杂Poly-Si）+退火LPCVD原位掺杂绕镀易清洗，但镀膜速率较慢，膜层均匀性差PECVDPECVD（掺杂a-Si）+退火轻微绕镀，镀膜速率快，H含量高易爆膜宁波材料所（金辰）热氧/PECVDPECVD（掺杂Poly-Si）+退火轻微绕镀，镀膜速率快，H含量高易爆膜拉普拉斯热氧LPCVD（本征a-Si）+磷扩LPCVD+磷扩技术成熟，钝化性能优异，单槽单片工艺成熟，但产能低，单槽双片工艺良率略低LPCVD（掺杂a-Si）+退火LPCVD原位掺杂绕镀易清洗，但镀膜速率较慢，膜层均匀性差PECVDPECVD（掺杂a-Si）+退火轻微绕镀，镀膜速率快，H含量高易爆膜微导PEALDPECVD（掺杂Poly-Si）+退火氧化层均匀性易控制，轻微绕镀，镀膜速率快，H含量高易爆膜赛瑞达热氧LPCVD（本征Poly-Si）+磷扩LPCVD+磷扩技术成熟，钝化性能优异，单槽单片工艺成熟，但产能低，单槽双片工艺良率略低LPCVD（掺杂Poly-Si）+退火LPCVD原位掺杂绕镀易清洗，但镀膜速率较慢，膜层均匀性差理想晶延热氧/PECVDPECVD（掺杂Poly-Si）+退火轻微绕镀，镀膜速率快，H含量高易爆膜PECVD（本征Poly-Si）+退火北方华创热氧LPCVD（本征a-Si）+磷扩LPCVD+磷扩技术成熟，钝化性能优异，单槽单片工艺成熟，但产能低，单槽双片工艺良率略低LPCVD（掺杂a-Si）+退火LPCVD原位掺杂绕镀易清洗，但镀膜速率较慢，膜层均匀性差CT热氧PECVD（掺杂Poly-Si）+退火轻微绕镀，镀膜速率快，H含量易爆膜捷佳伟创PECVDPECVD（掺杂Poly-Si）+退火隧穿氧化层、本征poly-Si、掺杂poly-Si、掩膜层，四种工艺薄膜一次原位完成轻微绕镀，镀膜速率快，H含量易爆膜数据来源：PVInfolink，捷佳伟创官网，广发证券发展研究中心预计2022年光伏电池片设备市场规模约254亿元，其中TOPCon设备市场规模约92识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明15/24[Table_PageText]深度分析专用设备亿元。我们通过统计国内新增电池片环节的新增产能，并对不同技术路线的在新增产能中的占比以及产线投入作出假设，得到2022-2025年的光伏设备市场规模为254/348/430/535亿元，复合增长率保持在20%左右。表10：电池片设备市场规模估计（亿元）20192020E2021E2022E2023E2024E2025E关键假设国内新增产能GW4282118120160200240新增产能占比（%）TOPcon0%7%7%35%50%60%55%HJT6%6%7%20%25%30%45%PERC92%88%86%45%25%10%0%新增产能（GW）TOPcon0684280120132HJT359244060108PERC39721015440200单价假设（亿元/GW）TOPcon432.52.221.81.6HJT84.54.33.83.53.23PERC321.51.31.21.11.1市场规模（亿元）TOPcon0172092160216211HJT23213891140192324PERC1161431527048220新增市场规模总和（亿元）139181210254348430535YOY30%16%21%37%24%24%数据来源：广发证券发展研究中心测算识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明16/24[Table_PageText]深度分析专用设备三、硅料产能释放，电池片盈利回升，资本开支望上行短期波动不改长期趋势，静待下游盈利好转。从21年初到22年1月初，硅料价格从72元/kg，上升到235元/kg，上升幅度达226%，期间最高达到270元/kg，上升幅度达275%，同期电池片价格从约0.95元/W上升到约1.10元/W，上升幅度只有约16%，硅料价格上涨，电池片环节成本不能顺利向下传导，使得电池片环节盈利恶化。以爱旭股份为例，20Q4-21Q3四个季度的毛利率分别为17.7%/9.7%/1.7%/6.0%，净利率为12.7%/3.4%/-3.2%/-0.5%，电池片环节开工率与盈利情况均不甚理想，也对电池设备的投入与验收工作造成了一定的负面影响。我们认为硅料价格的高企造成的只是电池片设备投入的推迟而不是取消，随着硅料产能的逐步释放、电池片环节开工率与盈利的逐步好转，电池片设备的投入将继续。图5：近年硅料价格（元/kg）与电池片价格（元/W）变化情况数据来源：Solarzoom，广发证券发展研究中心0.20.30.40.50.60.70.80.91.01.11.250100150200250国内特级致密料成交价（元/kg，左轴）单晶PERC158（元/W）单晶PERC166（元/W）单晶PERC182（元/W）单晶PERC210（元/W）识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明17/24[Table_PageText]深度分析专用设备图6：爱旭股份毛利率与净利率情况数据来源：Wind，广发证券发展研究中心2022年随着硅料产能逐步释放，硅料环节“相对紧缺”现状年内有望得到改善，电池片盈利或将回升，有望带动资本开支上行。根据集邦咨询，至2022年年底全球多晶硅有效产能有望达80-85万吨，新增产能约为20-30万吨。考虑硅料产能爬坡时间约6个月，且受能耗双控及产线检修影响，2022年上半年硅料新增有效产能有限，叠加下游刚性装机需求，硅料仍处于紧平衡状态，随着Q3、Q4季度硅料厂商扩产项目达产，产能逐步释放，Q2末硅料供需紧平衡状况将得到缓解，硅料或将小有余量，电池片盈利或将回升，将有效带动设备的需求增长。表11：近年硅料产能统计（万吨）产地企业名称21年底有效产能22年新增有效产能22年底有效产能备注国内保利协鑫1011.421.4新增产能为乐山一期及徐州颗粒硅项目永祥股份91018新增产能为乐山二期及保山一期项目某公司7.20.88新增产能为基数改造部分东方希望628新疆三期预计2022年Q2投产亚洲硅业224新增产能为云南一期项目大全新能源7.73.511.2新增产能为新疆三期项目陕西天宏1.801.8内蒙东立1.201.2洛阳中硅1.201.2鄂尔多斯101内蒙盾安1.201.2海外OCI303瓦克606总计57.329.786数据来源：集邦咨询，广发证券发展研究中心-5.0%0.0%5.0%10.0%15.0%20.0%2019Q32019Q42020Q12020Q22020Q32020Q42021Q12021Q22021Q3爱旭股份毛利率爱旭股份净利率识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明18/24[Table_PageText]深度分析专用设备四、推荐标的：技术路线多点开花，设备厂商各有千秋（一）捷佳伟创：多路线布局，有望受益于行业扩产进程捷佳伟创成立于2007年，是国内领先的从事晶体硅太阳能电池设备研发、生产和销售的国家高新技术企业。公司凭借自身的技术研发实力在太阳能电池设备生产领域行业地位突出。公司的主要业务为晶体硅太阳能电池设备研发、生产和销售，主要产品包括PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售。图7：捷佳伟创产品谱系数据来源：捷佳伟创官网，广发证券发展研究中心公司收入和净利润稳中有升。公司实现2020年收入40.44亿元，同比增长60%，2021Q1-Q3季度实现37.45亿元，同比增长21.43%，2021年收入预计将保持增长。公司2020年净利率为12.93%，毛利率为26.43%，相较于2019年均出现下滑，2021年Q1-Q3季度净利率为16.01%，毛利率为25.70%，净利率较2020年有所上升，毛利率下滑速度趋缓。识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明19/24[Table_PageText]深度分析专用设备图8：捷佳伟创营业收入与净利润变化情况图9：捷佳伟创毛利率与净利率变化数据来源：Wind，广发证券发展研究中心数据来源：Wind，广发证券发展研究中心根据公司在互动易对投资者的答复，公司正加速第三代电池设备布局，管式PECVD正在中试线上进行量产定型的工艺调试阶段，运行情况均符合公司预期，并且还在升级优化，公司在光伏各技术路线及海外市场上的新签订单在不断增加。（二）迈为股份：国际HJT设备领先企业，率先受益于HJT扩产进程迈为股份成立于2010年，是一家集机械设计、电气研制、软件算法开发、精密制造装备于一体的高端智能装备制造商。公司凭借多年来优异的自主研发能力、产品质量与售后服务体系，打破了外国厂商在光伏丝网印刷设备领域的垄断，成为全球光伏丝网印刷设备的龙头企业，实现了光伏丝网印刷制造设备领域的国产化替代。迈为股份的主要业务为面向太阳能光伏、显示、半导体三大行业，研发、制造、销售智能化高端装备，主要产品包括全自动太阳能电池丝网印刷生产线、异质结高效电池制造整体解决方案、OLED柔性屏激光切割设备、Mini/MicroLED晶圆设备、半导体晶圆封装设备等。-50%0%50%100%150%200%250%051015202530354045营业收入（亿元）归母净利润（亿元）营业收入yoy归母净利润yoy051015202530354045净利率（%）毛利率(%)识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明20/24[Table_PageText]深度分析专用设备图10：迈为产品谱系数据来源：迈为股份官网，广发证券发展研究中心公司收入和净利润稳中有升，净利率和毛利率持续回升，盈利能力强。公司实现2020年收入22.85亿元，同比增长59%，2021Q1-Q3季度实现21.85亿元，同比增长35%，2021年收入预计将保持较高增长。公司2020年净利率为17.25%，毛利率为34.02%，2021年前三季度净利率为20.39%，毛利率为38.41%，净利率与毛利率持续上升，盈利能力较强。图11：迈为营业收入与净利润变化情况图12：迈为毛利率与净利率变化数据来源：Wind，广发证券发展研究中心数据来源：Wind，广发证券发展研究中心（三）帝尔激光：光伏激光设备龙头，技术持续突破帝尔激光成立于2008年，是一家研发精密激光加工配套设备,提供相应解决方案设计的国家级高新技术企业。公司在微纳级激光精密加工领域深耕多年，在高效太阳能电池路线领域，PERC激光消融设备、SE激光掺杂设备，技术水平处于行业前列，是行业内少数能够提供高效太阳能电池激光加工综合解决方案的企业。0%50%100%150%200%250%300%350%400%450%0510152025营业收入（亿元）归母净利润（亿元）营业收入yoy归母净利润yoy0102030405060净利率（%）毛利率(%)识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明21/24[Table_PageText]深度分析专用设备公司主营业务为精密激光加工解决方案的设计及其配套设备的研发、生产和销售。公司主要产品为应用于光伏产业的精密激光加工设备，目前的主要产品包括PERC激光消融设备、SE激光掺杂设备、MWT系列激光设备、全自动高速激光划片/裂片机、LID/R激光修复设备、激光扩硼设备等激光设备。近来公司在激光转印等领域持续突破，已覆盖了高效太阳能电池的PERC、MWT、SE、LID/R等多个工艺环节，PERC、IBC、SE、LID/R等工艺可在高效太阳能电池生产过程中叠加。图13：帝尔激光产品数据来源：公司官网，广发证券发展研究中心公司收入和净利润稳步上升，净利率和毛利率缓慢下滑但仍维持高位。公司实现2020年收入10.72亿元，同比增长53%，2021Q1-Q3季度实现9.35亿元，同比增长31%。公司2020年净利率为34.79%，毛利率为46.54%，2021年前三季度净利率为30.12%，毛利率为44.62%，净利率与毛利率有所下滑，但整体盈利能力仍较强。图14：帝尔激光营业收入与净利润变化情况图15：帝尔激光毛利率与净利率变化数据来源：Wind，广发证券发展研究中心数据来源：Wind，广发证券发展研究中心0%50%100%150%200%250%024681012营业收入（亿元）归母净利润（亿元）营业收入yoy归母净利润yoy010203040506070净利率（%）毛利率(%)识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明22/24[Table_PageText]深度分析专用设备五、风险提示（一）电池技术提效降本不及预期的风险TOPCon/HJT等电池技术降本路径明确，但是能否实现以及实现的节奏存在不确定性，如果降本不及预期，可能对行业内重点布局若干技术路线的设备厂商产生较大的负面影响。另外，电池技术提效降本不及预期以及技术路线的不明朗会导致下游制造厂商推迟资本开支计划，从而对设备厂商的短期业绩产生较大的不利影响。（二）行业竞争加剧的风险之前的光伏设备市场规模较小，具体到每个细分领域也就十几亿到几十亿的规模，对行业外厂商的吸引力并不大。随着设备规模的逐步扩大，行业内已有的设备厂商开始逐步向设备的上下游环节扩张，同时也可能吸引更多的设备厂商进入，尤其是半导体设备厂商，随着厂商的增多和竞争的逐渐加剧，对设备厂商的利润和市占率可能构成负面影响。（三）技术迭代对不同设备影响的风险由于不同的技术路径对不同设备的需求构成有区别，诸如HJT产线中PECVD设备占据较大的比例、TOPCon产线中扩散设备占据较大的比例，而不同的太阳能电池片设备厂商所生产的设备有所区别，技术迭代可能会对个别设备的需求产生较大的影响，从而个别厂商的业绩产生较大的影响。（四）下游需求波动的风险光伏“平价上网”之后，政策对行业的影响与之前相比大为减小，政策风险明显减小。但是下游光伏电站属于资本性投入，受宏观经济、利率环境等因素影响，如果面临非常不利的宏观经济环境，可能会对下游的需求造成比较大的负面影响。（五）贸易摩擦的风险随着我国光伏行业逐渐摆脱对补贴的依赖以及我国企业在海外的布局，贸易摩擦的风险与之前相比大为减小。但是我国光伏行业的低成本优势已经对国外的光伏企业产生较大的冲击，个别国家可能会出于保护本国企业而推出较为不利的贸易政策。识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明23/24[Table_PageText]深度分析专用设备[Table_ResearchTeam]广发机械行业研究小组代川：首席分析师，中山大学数量经济学硕士，2015年加入广发证券发展研究中心。周静：资深分析师，上海财经大学会计学硕士，2017年加入广发证券发展研究中心。孙柏阳：资深分析师，南京大学金融工程硕士，2018年加入广发证券发展研究中心。朱宇航：资深分析师，上海交通大学机械电子工程硕士，2020年加入广发证券发展研究中心。范方舟：研究助理，中国人民大学国际商务硕士，2021年加入广发证券发展研究中心。王宁：北京大学金融硕士，2021年加入广发证券发展研究中心。[Table_RatingIndustry]广发证券—行业投资评级说明买入：预期未来12个月内，股价表现强于大盘10%以上。持有：预期未来12个月内，股价相对大盘的变动幅度介于-10%～+10%。卖出：预期未来12个月内，股价表现弱于大盘10%以上。[Table_RatingCompany]广发证券—公司投资评级说明买入：预期未来12个月内，股价表现强于大盘15%以上。增持：预期未来12个月内，股价表现强于大盘5%-15%。持有：预期未来12个月内，股价相对大盘的变动幅度介于-5%～+5%。卖出：预期未来12个月内，股价表现弱于大盘5%以上。[Table_Address]联系我们广州市深圳市北京市上海市香港地址广州市天河区马场路26号广发证券大厦35楼深圳市福田区益田路6001号太平金融大厦31层北京市西城区月坛北街2号月坛大厦18层上海市浦东新区南泉北路429号泰康保险大厦37楼香港德辅道中189号李宝椿大厦29及30楼邮政编码510627518026100045200120-客服邮箱gfzqyf@gf.com.cn[Table_LegalDisclaimer]法律主体声明本报告由广发证券股份有限公司或其关联机构制作，广发证券股份有限公司及其关联机构以下统称为“广发证券”。本报告的分销依据不同国家、地区的法律、法规和监管要求由广发证券于该国家或地区的具有相关合法合规经营资质的子公司/经营机构完成。广发证券股份有限公司具备中国证监会批复的证券投资咨询业务资格，接受中国证监会监管，负责本报告于中国（港澳台地区除外）的分销。广发证券（香港）经纪有限公司具备香港证监会批复的就证券提供意见（4号牌照）的牌照，接受香港证监会监管，负责本报告于中国香港地区的分销。本报告署名研究人员所持中国证券业协会注册分析师资质信息和香港证监会批复的牌照信息已于署名研究人员姓名处披露。[Table_ImportantNotices]重要声明广发证券股份有限公司及其关联机构可能与本报告中提及的公司寻求或正在建立业务关系，因此，投资者应当考虑广发证券股份有限公司及其关联机构因可能存在的潜在利益冲突而对本报告的独立性产生影响。投资者不应仅依据本报告内容作出任何投资决策。投资者应自主作出投资决策并自行承担投资风险，任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或者口头承诺均为无效。本报告署名研究人员、联系人（以下均简称“研究人员”）针对本报告中相关公司或证券的研究分析内容，在此声明：（1）本报告的全部分析结论、研究观点均精确反映研究人员于本报告发出当日的关于相关公司或证券的所有个人观点，并不代表广发证券的立场；（2）研究识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明24/24[Table_PageText]深度分析专用设备人员的部分或全部的报酬无论在过去、现在还是将来均不会与本报告所述特定分析结论、研究观点具有直接或间接的联系。研究人员制作本报告的报酬标准依据研究质量、客户评价、工作量等多种因素确定，其影响因素亦包括广发证券的整体经营收入，该等经营收入部分来源于广发证券的投资银行类业务。本报告仅面向经广发证券授权使用的客户/特定合作机构发送，不对外公开发布，只有接收人才可以使用，且对于接收人而言具有保密义务。广发证券并不因相关人员通过其他途径收到或阅读本报告而视其为广发证券的客户。在特定国家或地区传播或者发布本报告可能违反当地法律，广发证券并未采取任何行动以允许于该等国家或地区传播或者分销本报告。本报告所提及证券可能不被允许在某些国家或地区内出售。请注意，投资涉及风险，证券价格可能会波动，因此投资回报可能会有所变化，过去的业绩并不保证未来的表现。本报告的内容、观点或建议并未考虑任何个别客户的具体投资目标、财务状况和特殊需求，不应被视为对特定客户关于特定证券或金融工具的投资建议。本报告发送给某客户是基于该客户被认为有能力独立评估投资风险、独立行使投资决策并独立承担相应风险。本报告所载资料的来源及观点的出处皆被广发证券认为可靠，但广发证券不对其准确性、完整性做出任何保证。报告内容仅供参考，报告中的信息或所表达观点不构成所涉证券买卖的出价或询价。广发证券不对因使用本报告的内容而引致的损失承担任何责任，除非法律法规有明确规定。客户不应以本报告取代其独立判断或仅根据本报告做出决策，如有需要，应先咨询专业意见。广发证券可发出其它与本报告所载信息不一致及有不同结论的报告。本报告反映研究人员的不同观点、见解及分析方法，并不代表广发证券的立场。广发证券的销售人员、交易员或其他专业人士可能以书面或口头形式，向其客户或自营交易部门提供与本报告观点相反的市场评论或交易策略，广发证券的自营交易部门亦可能会有与本报告观点不一致，甚至相反的投资策略。报告所载资料、意见及推测仅反映研究人员于发出本报告当日的判断，可随时更改且无需另行通告。广发证券或其证券研究报告业务的相关董事、高级职员、分析师和员工可能拥有本报告所提及证券的权益。在阅读本报告时，收件人应了解相关的权益披露（若有）。本研究报告可能包括和/或描述/呈列期货合约价格的事实历史信息（“信息”）。请注意此信息仅供用作组成我们的研究方法/分析中的部分论点/依据/证据，以支持我们对所述相关行业/公司的观点的结论。在任何情况下，它并不（明示或暗示）与香港证监会第5类受规管活动（就期货合约提供意见）有关联或构成此活动。[Table_InterestDisclosure]权益披露(1)广发证券（香港）跟本研究报告所述公司在过去12个月内并没有任何投资银行业务的关系。[Table_Copyright]版权声明未经广发证券事先书面许可，任何机构或个人不得以任何形式翻版、复制、刊登、转载和引用，否则由此造成的一切不良后果及法律责任由私自翻版、复制、刊登、转载和引用者承担。