行业深度报告电镀铜助力电池无银化，促进XBC与HJT产业化提速行业深度报告请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。行业报告电力设备及新能源2023年09月27日强于大市（维持）行情走势图证券分析师皮秀投资咨询资格编号S1060517070004PIXIU809@pingan.com.cn研究助理苏可一般证券从业资格编号S1060122050042suke904@pingan.com.cn平安观点：铜电镀助力光伏电池金属化环节降本增效。金属化环节主要制作光伏电池电极栅线，目前银浆丝网印刷是主流量产路线。随着N型电池迅速放量，银浆耗量较PERC有显著增加。银浆成本高企是制约N型电池产业化提速的痛点之一，铜电镀作为完全无银化的革命性技术发展优势显著。光伏铜电镀是在基体表面通过电解方法沉积金属铜制作电池铜栅线，较传统银浆丝印具备更低的银浆成本、更优的导电性能、更好的塑性和高宽比，有望替代高银耗的丝印技术，助力HJT、XBC等电池降本增效和规模化放量。光伏铜电镀工艺重点为图形化与电镀环节，技术路线尚未定型。电镀铜主要工序包括种子层沉积、图形化、电镀及后处理四大环节，目前各环节技术路线不一，多种组合工艺方案并行。图形化包含掩膜、曝光、显影等步骤，主要技术有LDI激光直写光刻、常规掩膜光刻、激光开槽、喷墨打印等，其中无需掩膜的激光直写光刻技术应用潜力较大，激光开槽在BC类电池上已有量产应用。电镀工艺主要包括垂直电镀、水平电镀、插片式电镀、柔性接触电镀等路线，东威科技、捷得宝、罗博特科、太阳井等不同技术方案均在推进客户端验证。伴随综合性能提升、成本工艺优化，光伏电镀铜有望于2024年逐步明确技术路线与工艺组合方案。铜电镀有望加快中试并逐步导入量产，市场空间将进一步打开。当前，HJT降本增效与下游招标进展提速，XBC电池获得更多企业储备和量产布局，无银化电镀铜技术渗透率有望提升。相较于银包铜+0BB/NBB工艺，电镀铜量产化进度较慢，优势在于可助力电池提效0.3-0.5%+（绝对量），进而提高高端组件功率。预计银包铜+0BB/NBB将是短期内HJT电池量产化的主要降本路径，电镀铜有望于2023-2024年加快中试，并于2024年逐步导入量产。随着工艺经济性持续优化，电镀铜发展优势有望强化，预计到2025-2026年，光伏电镀铜设备市场空间有望达到34-72亿元。投资建议。铜电镀发展潜力显著，有望助力HJT和XBC电池规模化发展。投资布局建议关注三条主线：（1）设备市场空间有望打开，建议关注电镀铜图形化设备厂商如芯碁微装、苏大维格、帝尔激光等，和电镀设备厂商罗博特科、迈为股份、东威科技等。（2）电镀铜经济性优化需上游材料企业协同降本，建议关注湿膜及光刻胶企业广信材料。（3）无银化技术助力电池组件企业降本增效，建议关注布局和储备电镀铜工艺的头部XBC及HJT电池组件企业隆基绿能、爱旭股份、通威股份、东方日升等。风险提示。1、市场需求不及预期的风险，若下游需求放缓，或影响新型电池扩产与电镀铜设备出货进度。2、电镀铜技术成熟度不及预期的风险，若技术优化不及预期，或影响电池组件厂商规模化导入进度。3、银包铜及0BB/NBB的量产应用使电镀铜导入迫切性下降。4、电镀铜技术竞争格局恶化的风险，激烈的竞争环境或使电镀铜设备材料企业盈利中枢下行。证券研究报告请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告2/24股票名称股票代码股票价格EPSP/E评级2023-09-2620222023E2024E2025E20222023E2024E2025E通威股份600438.SH31.005.714.382.783.475.47.111.28.9推荐隆基绿能601012.SH26.141.952.402.963.5413.410.98.87.4推荐迈为股份300751.SZ124.023.094.117.0810.5540.130.217.511.8推荐帝尔激光300776.SZ68.841.511.902.853.5445.736.324.219.4推荐芯碁微装688630.SH64.841.041.612.313.1462.440.328.120.6未评级罗博特科300757.SZ64.600.240.871.471.84272.774.543.935.2未评级东威科技688700.SH51.560.931.512.253.1355.534.222.916.5未评级广信材料300537.SZ20.42-0.170.210.440.74-123.295.146.027.6未评级资料来源：Wind，平安证券研究所，未评级公司参照Wind一致预测qRuNoMpQoPrRtQqMsMpQqM9PcM7NoMrRoMpMiNoOvMkPsQrO8OrQqMNZnQtPwMrNwP请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告3/24正文目录一、铜电镀助力光伏电池金属化环节降本增效..........................................................................................61.1高成本银浆制约，光伏电池金属化工艺亟待创新.....................................................................................61.2电镀铜助力光伏电池降本增效，发展优势显著........................................................................................7二、工艺重点为图形化与电镀环节，技术路线尚未定型............................................................................92.1铜电镀工艺流程：种子层沉积—图形化—电镀—后处理...........................................................................92.2种子层制备：主要涉及PVD设备........................................................................................................102.3图形化环节：主要涉及曝光机、显影机、激光设备................................................................................112.4电镀环节：主要设备电镀机.................................................................................................................13三、电镀铜有望加快中试并逐步导入量产，市场空间将进一步打开........................................................153.1电镀铜有望加快中试并逐步导入量产，无银化技术将推进HJT和XBC电池产业化提速..........................153.2预计到2025-2026年，光伏电镀铜设备市场空间有望达到34-72亿元。................................................17四、投资建议.........................................................................................................................................184.1建议关注电镀铜工艺相关设备、材料、电池组件端投资机会..................................................................184.2罗博特科...........................................................................................................................................194.3东威科技...........................................................................................................................................204.4芯碁微装...........................................................................................................................................214.5广信材料...........................................................................................................................................22五、风险提示.........................................................................................................................................23请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告4/24图表目录图表1光伏电池制备工艺流程........................................................................................................................6图表2TOPCon电池银栅线示意图.................................................................................................................6图表3HJT电池银栅线示意图........................................................................................................................6图表4HJT电池金属电极市场占比趋势..........................................................................................................7图表5N型电池银浆降本路线........................................................................................................................7图表6HJT电池结构示意图...........................................................................................................................7图表7HJT电池电镀电极结构示意图..............................................................................................................7图表8白银、正面银浆、电解铜价格走势.......................................................................................................8图表9电镀电极和丝印电极与TCO的接触.....................................................................................................8图表10常见金属与TCO的比接触电阻........................................................................................................8图表11丝网印刷银栅线（A）与电镀电极铜栅线（B）形貌对比.....................................................................9图表12铜电镀产业化难点...........................................................................................................................9图表13HJT电池铜电镀工艺流程...............................................................................................................10图表14种子层制备技术方案......................................................................................................................10图表15铜电镀图形化工艺流程....................................................................................................................11图表16图形化技术方案对比.......................................................................................................................11图表17泛半导体光刻技术分类...................................................................................................................12图表18直写光刻、接近接触式光刻、投影式光刻工艺原理...........................................................................12图表19芯碁微装采用DMD的直写光刻技术原理示意图...............................................................................13图表20芯碁微装SDI-15H太阳能电池光刻设备..........................................................................................13图表21水平电镀示意图.............................................................................................................................13图表22垂直电镀示意图.............................................................................................................................13图表23插片式太阳能电池片铜电极电镀装置...............................................................................................14图表24多通道太阳能电池片铜电极电镀装置...............................................................................................14图表25主要电镀技术方案特点...................................................................................................................14图表26PERC、TOPCon、HJT非硅成本情况............................................................................................15图表27当前HJT电池不同金属化方案成本测算..........................................................................................16图表28近期电镀铜技术产业化进展............................................................................................................16图表29电镀铜设备市场空间测算...............................................................................................................18图表30光伏电镀铜工艺相关厂商梳理.........................................................................................................18图表31罗博特科营收和净利润及同比增速（亿元，%）..............................................................................19图表32罗博特科近年毛利率与净利率情况（%）........................................................................................19图表33罗博特科主营业务占比及相应毛利率情况（%）..............................................................................20请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告5/24图表34罗博特科研发费用及研发费用率情况（亿元，%）...........................................................................20图表35东威科技营收和净利润及同比增速（亿元，%）..............................................................................20图表36东威科技近年毛利率与净利率情况（%）........................................................................................20图表37东威科技主营业务占比及相应毛利率情况（%）..............................................................................21图表38东威科技研发费用及研发费用率情况（万元，%）...........................................................................21图表39芯碁微装营收和净利润及同比增速（亿元，%）..............................................................................21图表40芯碁微装近年毛利率与净利率情况（%）........................................................................................21图表41芯碁微装主营业务占比及相应毛利率情况（%）..............................................................................22图表42芯碁微装研发费用及研发费用率情况（亿元，%）...........................................................................22图表43广信材料营收和净利润及同比增速（亿元，%）..............................................................................22图表44广信材料近年毛利率与净利率情况（%）........................................................................................22图表45广信材料主营业务占比及相应毛利率情况（%）..............................................................................23图表46广信材料研发费用及研发费用率情况（亿元，%）...........................................................................23请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告6/24一、铜电镀助力光伏电池金属化环节降本增效1.1高成本银浆制约，光伏电池金属化工艺亟待创新光伏电池是光伏系统实现光电转换最为核心的器件，其制备流程主要分为清洗制绒、扩散制结、正背面镀膜、金属化印刷固化等几大工艺环节。其中，金属化环节主要用于制作光伏电池电极栅线，通过在电池两侧印刷银浆固化金属电极，使得电极与电池片紧密结合，形成高效的欧姆接触以实现电流输出。金属化环节主要有银浆丝网印刷、银包铜丝印、激光转印、电镀铜、喷墨打印等几类工艺，传统的丝网印刷成熟简单是目前主流量产技术路线，其他工艺尚未实现大规模产业化。图表1光伏电池制备工艺流程资料来源：迈为股份招股说明书，平安证券研究所当前，电池金属化过程中的核心关键材料是银浆，其不仅直接决定着电池片的导电性能，也是电池成本中占比仅次于硅片的核心耗材。随着N型电池扩产落地加速，光伏电池用银需求将快速增长。根据中国光伏行业协会统计，2022年P型电池片正银及背银消耗量约91mg/片，N型TOPCon电池双面银浆（铝）（95%银）平均消耗量约115mg/片，HJT电池双面低温银浆消耗量约127mg/片，N型电池银浆耗量较PERC有显著增加。当前，TOPCon电池一般使用高温银浆或银铝浆，HJT电池由于非晶硅薄膜含氢量较高，生产环节温度控制在250℃以下，需采用价格更昂贵的低温导电银浆，浆料的优化与降本对N型电池经济性提升与产业化放量尤其重要。图表2TOPCon电池银栅线示意图图表3HJT电池银栅线示意图资料来源：聚和材料，平安证券研究所资料来源：聚和材料，平安证券研究所请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告7/24银浆以价格昂贵的银粉为主要基材，目前银粉供给主要依赖国外进口，银浆成本会受银价及汇率波动扰动。银浆耗量大、成本高企是制约HJT等N型电池产业化提速的痛点之一，行业迫切需要创新金属化工艺实现降本增效。目前降银耗的工艺技术主要有两大方向：一是减少高价银浆用量，如应用SMBB或0BB、激光转印等技术；二是使用贱金属铜替代银粉，减少银粉的用量，如应用银包铜、电镀铜等技术。根据光伏行业协会梳理，目前异质结电池片的金属电极仍以银电极为主，2022年低温银浆电极市场占比达到98.2%，部分企业及研究机构正积极开发利用贱金属铜等替代银的电极技术，包括银包铜浆料结合丝印技术和电镀铜技术。近段时间，在电池金属化工艺持续创新的背景下，铜电镀工艺作为完全无银化的技术发展提速。图表4HJT电池金属电极市场占比趋势图表5N型电池银浆降本路线资料来源：中国光伏行业协会，平安证券研究所资料来源：摩尔光伏，平安证券研究所1.2电镀铜助力光伏电池降本增效，发展优势显著铜电镀是一种非接触式的铜电极制备工艺，有望助力光伏电池实现完全无银化。铜电镀技术在印刷电路板PCB等行业应用成熟，亦可用于晶硅电池金属化环节，其原理是在基体金属表面通过电解方法沉积金属铜制作铜栅线，进而作为电极收集光伏效应产生的载流子。铜电镀工艺发展优势显著，较银浆丝网印刷具备更低的银浆成本、更优的导电性能、更好的塑性和高宽比，有望替代高银耗的丝网印刷技术，进一步提高电池效率和降低银浆成本，助力HJT和XBC电池降本增效和规模化发展。图表6HJT电池结构示意图图表7HJT电池电镀电极结构示意图资料来源：隆基LONGiSolar，平安证券研究所资料来源：《硅异质结太阳电池接触特性及铜金属化研究》俞健等，平安证券研究所（一）铜电镀优势之降本：较银浆丝网印刷具备更低的银浆成本。截至9月5日，上海金交所白银现货收盘价为5814元/kg（Wind），白银正面银浆6391元/kg（百川盈孚），而电解铜1#市场均价仅为69.83元/kg（百川盈孚），铜价仅为银浆的1%左右。铜电镀技术免于使用昂贵的白银原料，应用低价纯铜替代做电极，大幅降低原材料成本实现无银化。此外，电镀铜设备可以应用于HJT、XBC、Topcon等技术，并可同时间完成电池正背面双面电镀，降本空间和应用潜力广阔。0%25%50%75%100%20222023E2024E2025E2027E2030E其他电极电镀电极银包铜电极低温银浆电极请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告8/24图表8白银、正面银浆、电解铜价格走势资料来源：Wind，百川盈孚，平安证券研究所（二）铜电镀优势之增效：（1）铜电镀电极导电性能优于银栅线，且与TCO层的接触特性更好，促进提高电池转换效率。A．金属电阻率影响着电极功率损耗与导电性能，纯铜具有更低电阻率。异质结低温银浆主要由银粉、有机树脂等材料构成，浆料固化后部分有机物不导电，使低温银浆的电阻率较高、电极功率损耗较大；同时，由于低温银浆烧结温度不超过250℃，浆料中Ag颗粒间粘结不紧密，具有较多的空隙，导致其线电阻的提高及串联电阻的增加。而铜电镀栅线使用纯铜，其电阻率接近纯银但明显低于低温银浆，且其电极结构致密均匀，没有明显空隙，可实现更低的线电阻率，降低电池电极欧姆损耗、提高电性能。B．金属与TCO层的接触特性影响着异质结太阳电池载流子收集、附着特性及电性能，铜电镀电极更具优势。银浆料与TCO透明导电薄膜之间的接触存在孔洞较多，造成其金属-半导体接触电阻的增加和电极附着性降低，影响了载流子的传输。而铜电镀电极易与透明导电薄膜紧密附着，无明显孔洞，使接触电阻较小，可以提高载流子收集几率。图表9电镀电极和丝印电极与TCO的接触图表10常见金属与TCO的比接触电阻资料来源：《硅异质结太阳电池接触特性及铜金属化研究》俞健等，平安证券研究所资料来源：《硅异质结太阳电池接触特性及铜金属化研究》俞健等，平安证券研究所50607080901002000300040005000600070002022-01-042022-03-222022-06-082022-08-172022-11-032023-01-132023-03-312023-06-152023-08-28白银正面银浆，元/千克上海金交所白银现货:收盘价:Ag(T+D)，元/千克电解铜1#市场均价，元/千克，右轴请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告9/24（2）铜电镀电极具有超细线宽、更优的高宽比和更好的塑性，促进提升电池转换效率。银浆丝网印刷银栅线宽度一般约为30-40μm，而铜电镀铜栅线宽度约为15-20μm。电镀过程中，铜金属的沉积被限制在掩膜中，图形化设备可以设计更细的电极线宽，剥离掩膜后电极拥有更好高宽比，并呈矩形状的塑形，可最大限度地实现细栅并降低遮光损失，叠加铜电阻率的下降，可显著改善光生载流子的产生与收集，促进0.3%-0.5%的电池效率提升。图表11丝网印刷银栅线（A）与电镀电极铜栅线（B）形貌对比资料来源：Coppermetallizationofelectrodesforsiliconheterojunctionsolarcells:Process,reliabilityandchallenges，平安证券研究所当前，铜电镀工艺仍面临一定量产难点，后续有望通过技术、工艺、设备、材料等多方面举措优化改善。具体量产难点包括：（1）相比较传统丝印，电镀铜工艺流程较长，易发生脱栅、氧化等情形，并在设备工艺成本及良率控制方面存在难度，大规模量产技术有待进一步成熟。（2）电镀工艺会留存各种重金属、废液，环保处理成本较高。后续，行业有望通过上下游协同，从技术、工艺以及设备、材料、电池组件端多方面进行优化提升，推进验证与量产进展加速。图表12铜电镀产业化难点产业化难点问题描述解决方案铜栅线脱栅铜栅线线宽较细，与TCO接触面积较小前后道低应力技术工艺配合铜栅线氧化铜栅线易被氧化镀锡以解决铜氧化问题良率工艺流程与产线较长，良率控制难度较大大规模量产技术有待进一步成熟，工艺调试优化设备量产设备成本较高、产能有待提高目前图形化和电镀设备产能均在持续提升中，有望通过精简优化和规模化推进进一步降本环保或有油墨、显影和电镀废液残留，环保成本较高配置环保处理装置资料来源：SOLARZOOM，索比光伏网，平安证券研究所二、工艺重点为图形化与电镀环节，技术路线尚未定型2.1铜电镀工艺流程：种子层沉积—图形化—电镀—后处理光伏电镀铜工艺流程主要包括种子层沉积、图形化、电镀及后处理四大环节，目前各环节技术路线不一，多种组合工艺方案并行，需要综合性能、成本来选择合适的工艺路线。请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告10/24图表13HJT电池铜电镀工艺流程资料来源：《硅异质结太阳电池接触特性及铜金属化研究》俞健等，平安证券研究所（1）种子层沉积：异质结电池表面沉积有透明导电薄膜（TCO）作为导电层、减反射层，由于铜在TCO层上的附着性较差，两者间为物理接触，附着力主要为范德华力，电极容易脱落，一般需要在电镀前在TCO层上先行使用PVD设备沉积种子层（100nm），改善电极接触与附着性问题。（2）图形化：由于在TCO上镀铜是非选择性的，需要形成图形化的掩膜以显现待镀铜区域的线路图形，划分导电与非导电部分。图形化过程中，将感光胶层覆盖于HJT电池表面，通过选择性光照，使得不需要镀铜的位置感光材料发生改性反应，而需要镀铜的位置感光材料不变；在显影步骤时，待镀铜区域内未发生改性反应的感光材料会被去除，形成图形化的掩膜，后续电镀时铜将沉积于该线路图形区域内露出的种子层上并发生导电，而其他位置不会发生铜沉积，实现选择性电镀。（3）电镀：将待电镀电池（阴极）浸泡在电镀设备的硫酸铜（阳极）溶液中，通电进行电解，铜离子（阳离子Cu2+）被还原，在需要镀铜的线路区域内沉积成铜，形成选择性的铜电极。（4）后处理：进行电镀锡或使用抗铜氧化剂制作保护层，可应用湿法刻蚀、激光刻蚀、等离子体刻蚀等工艺，剥离掩膜、刻蚀掉剩余种子层，并做表面处理，最终得到具有优异塑形和良好选择性的铜电极。2.2种子层制备：主要涉及PVD设备种子层制备方法有物理气相沉积法PVD、化学气相沉积CVD、喷涂、印刷等，其中PVD设备为当前主流。种子层制备常用经济效益较好的铜金属，随着对电路稳定性的需求提高，一些可以提高铜线稳定性的铜合金材料也在被评估。该环节技术分歧主要在于是否制备种子层、制备整面还是局部种子层、以及种子层金属的选用。图表14种子层制备技术方案技术分类技术路径主要特点整面种子层PVD制备整面种子层制备方案较简单，需刻蚀剩余种子层局部种子层激光开槽后制备局部种子层制备方案较复杂，无需刻蚀多余种子层无种子层TCO层上直接电镀铜栅线节省种子层沉积和刻蚀成本，需着重提升TCO与铜栅线间附着性能资料来源：迈为股份，索比光伏网，平安证券研究所请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告11/242.3图形化环节：主要涉及曝光机、显影机、激光设备电镀铜图形化环节主要包含掩膜、曝光、显影几个步骤。其中，掩膜环节是将抗刻蚀的感光材料涂覆在电池表面以遮盖保护不需要被电镀的区域，感光材料主要有湿膜油墨、干膜材料等。曝光、显影环节是将图形转移至感光材料上，主要技术有LDI激光直写光刻（无需掩膜）、常规掩膜光刻技术、激光开槽、喷墨打印等；其中无需掩膜的LDI激光直写光刻技术应用潜力较大，激光开槽在BC类电池上已有量产应用，整体看图形化技术路线有望逐步明确和定型。图表15铜电镀图形化工艺流程资料来源：芯碁微装，太阳井新能源，SOLARZOOM，摩尔光伏，平安证券研究所目前，布局光伏电镀铜图形化工艺的公司主要有芯碁微装、苏大维格、迈为股份、太阳井等。芯碁微为国内直写光刻设备龙头，已实现电镀铜LDI直写光刻设备、接近/接触式光刻设备出货。苏大维格是国内领先的微纳光学制造和技术服务商，公司已在开发多代投影扫描式的光刻图形化设备，并已开始向下游客户验证。图表16图形化技术方案对比掩膜感光材料分类技术特点主要企业湿膜-感光油墨将湿膜涂覆在电池表面，优势为成本较低，栅线宽度可控性较强，劣势为或残余油墨影响电流和效率广信材料干膜-高分子材料将干膜贴合、层压至电池表面，优势为电镀均匀性较高，劣势为干膜材料成本较高，线宽较差，贴合和裁切碎片率较高福斯特曝光显影技术分类技术特点主要企业LDI直写光刻无需掩膜版，曝光精度较高栅线较细；核心零部件成本较高芯碁微装（已有设备交付）接近/接触式光刻分辨率相对较低，油墨或污染掩膜版，掩膜版清洗更换成本较高投影式光刻图像比例更小更精确，工艺成本较高，掩膜版无需常清洗和更换苏大维格（客户验证中）激光开槽激光开槽打开掩膜层形成图形，工艺流程相对简化激光能量控制难度较高，多应用于BC类电池已实现量产帝尔激光（已有量产应用）丝网印刷/喷墨打印工艺步骤较简单，成本较低，栅线宽度和形貌较差资料来源：公司公告，公司官微，索比光伏网，平安证券研究所请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告12/24光刻技术是指利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将设计好的微图形结构转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造技术。光刻设备是微纳制造的一种关键设备，在泛半导体领域，根据是否使用掩膜版，光刻技术主要分为直写光刻与掩膜光刻，其中掩膜光刻可进一步分为接近/接触式光刻以及投影式光刻。图表17泛半导体光刻技术分类资料来源：芯碁微装招股说明书，平安证券研究所掩膜光刻由光源发出的光束，经掩膜版在感光材料上成像，具体可分为接近、接触式光刻以及投影光刻。其中，投影式光刻更加先进，能够在使用相同尺寸掩膜版的情况下获得更小比例的图像，从而实现更精细的成像。直写光刻也称无掩膜光刻，是指计算机将电路设计图形转换为机器可识别的图形数据，并由计算机控制光束调制器实现图形的实时显示，再通过光学成像系统将图形光束聚焦成像至已涂覆感光材料的基板表面上，直接进行扫描曝光。直写光刻既具有投影光刻的技术特点，如投影成像技术、双台面技术、步进式扫描曝光等，又具有投影光刻不具备的高灵活性、低成本以及缩短工艺流程等技术特点。图表18直写光刻、接近接触式光刻、投影式光刻工艺原理资料来源：芯碁微装招股说明书，平安证券研究所芯碁微装直写光刻技术是采用高速实时动态面扫描的直写技术，利用大功率紫外激光或LED光源，照射在数字微镜器件上，通过数据链路实时产生动态图形，再通过高精度、低畸变的投影曝光镜头直接投影至覆有感光材料的基材上，高效实时地形成曝光图形。芯碁微装SDI-15H型太阳能电池光刻设备采用先进数字光刻技术，可直接将复杂高精图案转移至太阳能电池表面，是直写光刻图形化技术在光伏领域的量产首创应用。SDI-15H太阳能电池直写光刻系统采用多光学引擎并行扫描技术，具备高精度解析（15μm+），高精度图案对位（＜10μm），高速加工能力（单轨道≥6000半片/小时）等优异性能。请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告13/24图表19芯碁微装采用DMD的直写光刻技术原理示意图图表20芯碁微装SDI-15H太阳能电池光刻设备资料来源：芯碁微装招股说明书，平安证券研究所资料来源：芯碁微装公众号，平安证券研究所2.4电镀环节：主要设备电镀机电镀工艺主要包括垂直电镀、水平电镀、插片式电镀等，其中垂直电镀主要有垂直升降式电镀和垂直连续式电镀，目前电镀设备价值量约4000-5000万元/GW。当前多种技术路线并行，如何提升电镀产能和质量性能、降低碎片率将是电池片电镀机提升和改善的方向，伴随电镀工艺精简优化，电镀铜技术有望于2024年逐步明确技术选型。垂直电镀：挂镀，夹具夹住待镀电池垂直插入电镀槽进行电镀。垂直连续式电镀较垂直升降式电镀的产能有所提高，东威科技垂直连续电镀设备为国内外首创，目前正在制造第三代设备，将拥有产能规模大（8000片/小时以上）、破片率低（小于0.1%）、均匀性好、高效节能、清洁环保等优势。水平电镀：在电镀槽内通过滚轮水平传输待镀电池，滚轮导电使种子层形成电镀系统阴极，在通电及水平传输中实现电镀。图表21水平电镀示意图图表22垂直电镀示意图资料来源：国家知识产权局-专利号CN114335257A，申请人浙江爱旭太阳能科技有限公司，平安证券研究所资料来源：国家知识产权局-专利号CN114335257A，申请人浙江爱旭太阳能科技有限公司，平安证券研究所请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告14/24插片式电镀：将待镀电池设置在阴极导电支架上，向下插入使一个导电支撑单元位于相邻两个阳极板组件之间以实现电镀。根据罗博特科获得的发明专利《一种插片式太阳能电池片铜电极电镀装置及方法》（申请公布号CN115613106A，申请公布日2023.01.17）描述，该设备可实现双面电镀，单线可做到14000整片/小时，破片率＜0.02%，提高了装置产能和电镀质量，降低了不良率，结构合理、占地面积小。此外，今年4月罗博特科申请了一项《一种多通道太阳能电池片铜电极电镀装置》的实用新型专利（授权公告号CN219342367U，授权公告日2023.07.14），通过将电池片设置在导电支撑单元上，移动阴极导电花篮使导电支撑单元在多个阳极单元的阳极板组件间移动以实现电镀；该实用新型的电镀装置产能可达24000整片/小时，电镀均匀性更好，提高了电镀质量，减少了碎片风险。图表23插片式太阳能电池片铜电极电镀装置图表24多通道太阳能电池片铜电极电镀装置资料来源：国家知识产权局-专利号CN115613106A，申请人罗博特科智能科技股份有限公司，平安证券研究所资料来源：国家知识产权局-专利号CN219342367U，申请人罗博特科智能科技股份有限公司，平安证券研究所当前，布局电镀设备的企业主要有罗博特科、太阳井、东威科技、捷得宝、迈为股份等，不同技术方案均在加快推进客户端验证。罗博特科成功研发具有产能大、占地小、柔性强、易维护等优势的VDI电镀方案，目前积极推动单体GW级铜电镀设备量产爬坡，力争在2023Q3成功建成行业内首条大产能太阳能电池铜电镀生产线。东威科技正在推进第三代光伏镀铜设备（8000片/小时）场内调试，近期或发货至客户处。太阳井新能源已从纯工艺公司转变为设备与材料开发公司，通过自研掩膜材料、边缘保护技术、柔性接触电镀技术等技术突破，不断完善其电镀铜“工艺-设备-材料”体系。图表25主要电镀技术方案特点技术分类主要特点主要电镀企业水平电镀良率相对较高，栅线相对均匀，工艺难度较大，需解决气泡、滚轮消镀等问题。捷得宝垂直连续电镀常规看单机产能较小，均匀性、良率、碎片率待优化东威第三代设备产能8000片/小时以上、破片率小于0.1%，具有均匀性好、高效节能、清洁环保等优势。东威科技VDI/HDI插片式电镀罗博特科单线产能可升至1GW、占地面积减少了20%，柔性强、功耗低、易维护，有效降低初始投资及设备运行成本。罗博特科柔性接触电镀柔性导电材料接触供电，具备自研“工艺-设备-材料”体系太阳井资料来源：公司公告，公司官微，索比光伏网，平安证券研究所请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告15/24三、电镀铜有望加快中试并逐步导入量产，市场空间将进一步打开3.1电镀铜有望加快中试并逐步导入量产，无银化技术将推进HJT和XBC电池产业化提速当前，TOPCon技术凭借优越的经济性与性价比，已逐步确立光伏电池组件扩产主流地位；预计今年四季度或有较大规模产能投放，全年出货量有望达到100-150GW，后续通过双面Poly、TBC等技术有望强化竞争优势。HJT电池处于降本增效及市场导入关键期，伴随双面微晶、银包铜浆料、0BB技术、UV转光膜等产品的应用导入，产业化进程加速推进，近期央国企HJT招标规模有扩大趋势；未来通过电镀铜无银化、低铟叠层膜降铟等技术，有望进一步推动HJT技术降本增效。近期，隆基明确以BC电池作为公司未来主要技术路线，其中HPBC、TBC、HBC各具优势，爱旭主推无银化的ABC技术路线，多家头部电池组件企业已布局BC技术，未来伴随XBC电池扩产，无银化电镀铜工艺有望加速导入生产。当前，预计采用常规银浆丝网印刷工艺的PERC、TOPCon、HJT电池非硅成本分别约为0.14、0.17、0.28元/W，HJT电池非硅成本明显高于TOPCon和PERC电池。其中，相较于TOPCon技术，HJT技术除在设备折旧方面与之有较大差距外，单瓦银浆成本接近为TOPCon的2倍。HJT电池银浆成本约占其非硅成本的40%，较大程度影响了HJT产品经济性，降银耗需求较为迫切。通过0BB/NBB、银包铜、电镀铜等工艺降银，有望助力解决HJT等N型电池非硅成本过高的问题。图表26PERC、TOPCon、HJT非硅成本情况非硅成本项单位PERCTOPCon（SMBB）HJT（SMBB+纯银浆料）银浆元/w0.050.070.12其中：银浆耗量mg/片91115125银浆耗量mg/w11.514.218银浆价格元/kg450046006600靶材元/w000.03其中：靶材耗量mg/片92靶材耗量mg/w13.5靶材价格元/kg2200折旧元/w0.020.030.07其中：设备投资亿元/GW1.21.73.5折旧年限年555电力元/w0.020.030.02人工元/w0.020.020.02化学制剂等元/w0.020.020.02非硅成本合计元/w0.1360.170.28资料来源：InfoLink，中国光伏行业协会，华晟新能源，东方日升，弗斯迈智能科技，迈为股份，平安证券研究所当前，采用传统纯银丝印的HJT电池金属化成本约为0.14元/W；在各类降银技术中，银包铜和0BB/NBB技术的中试验证和量产导入节奏较快，预估两种技术叠加应用（综合纯银占比约50%）的HJT电池金属化成本约为0.08元/W，其中银耗量约9-10mg/W，将成为短期内可量产的金属化降本路径；电镀铜各技术路线目前均在推动客户验证，预估短期在中试阶段应用的HJT电池非硅成本约为0.11元/W，较银浆丝印更具经济性，与银包铜+0BB技术相比经济性仍需提升。0BB（无主栅）技术方面，在电池片环节取消主栅，利用焊带与副栅连接导出电流，可以降低银浆耗量约30%，减少主栅遮光损失、减短电流传输距离从而提高组件功率，防止主栅纯银和副栅银包铜浆料因不同膨胀系数造成的隐裂风险，实现降本增效。当前HJT电池0BB技术主要需解决TCO膜上焊带结合力和稳定性等问题，技术方案主要有SWCT（梅耶博格）、点胶（奥特维等）、焊接点胶（迈为股份等）三种方案，头部HJT厂商如东方日升、华晟新能源等均在加快导入量产应用。2023年4月，东方日升4GW高效25.5%异质结0BB电池首线全线贯通，首批HJT电池下线；2023年9月，迈为股份与华晟新能源签署20GW异质结NBB组件串焊设备战略合作协议，预计首期5.4GWNBB串焊设备将于2023年底开始交付，0BB/NBB技术量产应用加速。请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告16/24银包铜浆料方面，在铜表面包裹均匀厚度银膜，通过低温加工工艺，使银包铜粉具备金属铜核的物理化学性能及银镀层优良的金属特性，从而减少银粉用量，实现降本。目前东方日升HJT电池采用综合纯银占比低于50%的金属化方案，叠加电池0BB和组件昇连接技术，量产银耗量约9-10mg/W；未来伴随技术升级带来的单瓦银耗和含银量持续降低，每季度银浆耗量有望下降1mg/W，预计2024H1HJT电池的单瓦银耗有望降至7mg/W，使银浆成本降至5分/W以下成为可能。电镀铜工艺方面，相较于银包铜+0BB工艺在今年逐步导入量产，电镀铜量产进度相对滞后1年或以上，预计今年底或有GW级电镀铜产线招标，2024年以中试为主并开始逐步导入量产。伴随工艺路径精简优化、设备和材料端性能提升和成本优化，电镀铜渗透率有望逐步提升。未来，电镀铜有望为光伏电池提效0.5%或以上（绝对量），则组件功率增益约为15W-20W，该技术将成为高端高功率产品的重要选择，推进HJT和XBC电池产业化提速。相较于银包铜+0BB/NBB工艺，电镀铜优势在于可助力电池提效0.3-0.5%+（绝对量），进而提高高端组件功率。我们预计银包铜+0BB/NBB工艺或是短期内HJT电池量产化的主要降本路径，随着未来银含量30%银包铜浆料的导入，浆料成本有望降至约3分/W，HJT电池金属化成本或降至5分/W左右。电镀铜工艺有望于2023-2024年加快中试，并于2024年逐步导入量产。随着工艺经济性持续优化，电镀铜HJT电池的金属化成本有望降至5-6分/W左右，叠加考虑0BB/NBB对应组件封装/检测成本提升，而电镀铜可提升效率约0.5%+，电镀铜优势逐渐强化，有望成为光伏电池无银化的终极解决方案。图表27当前HJT电池不同金属化方案成本测算成本项单位纯银丝网印刷0BB+银包铜综合纯银占比约50%电镀铜中试设备折旧元/w0.0070.0040.028其中：设备投资亿元/GW0.350.181.4折旧年限年555浆料（综合成本）元/w0.120.07其中：银浆成本元/w0.120.06银浆耗量mg/w189主栅银浆耗量mg/w80副栅银浆耗量mg/w109银浆价格元/kg66006600电镀添加剂元/w000.02掩膜材料元/w000.02种子层材料等元/w000.02人工水电元/w0.010.010.01环保费用元/w000.01金属化成本元/w0.140.080.11资料来源：InfoLink，中国光伏行业协会，东方日升，迈为股份，太阳井新能源，平安证券研究所当前，电镀铜技术研发与客户端验证正加速推进，罗博特科、芯碁微装、太阳井、东威科技、迈为股份、广信材料等电镀铜设备和材料企业加速布局，下游电池组件企业通威股份、隆基绿能、华晟新能源、海源复材等尝试探索应用，电镀铜有望逐步成为量产化的低成本、高效率金属化解决方案，推进HJT和XBC电池产业化提速。图表28近期电镀铜技术产业化进展主要企业时间进度重点技术产品产业化进展太阳井2023.06异质结铜互连大试线由公司自主研发制造的全球首创异质结铜互连大试线在客户端成功验收，该HJT低成本铜制程方案从实验室到产业化的转化落地。2023.08GW级HJT铜电镀技术公司与客户签署GW级异质结铜电镀技术框架合作协议，约定了前期中试线部分指标的进一步提升标准，以及指标按期达成的前提下，为客户拟提供GW级铜电镀整线的具体工序设备清单与设备参数要求，请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告17/24同时约定了设备到货安装完成后的阶段爬坡指标。东威科技2022H1HJT电镀设备试验机公司研发的以镀铜代替银浆丝网印刷的专用设备，试验机进行了交付，效果表现良好，公司具备量产的条件。2023.01铜栅线HJT电池垂直连续电镀解决方案公司与国电投新能源及国电投新能源科技（龙港）公司签订了《铜栅线异质结电池垂直连续电镀解决方案战略合作框架协议》。2023.08第三代光伏镀铜设备进行第三代设备（8000片/小时）场内调试，预计9月份发货至客户处；继续量产第二代光伏镀铜设备，已有客户在洽谈中。罗博特科2022.12HJT电池铜电镀设备12月26日，罗博特科向国电投新能源成功交付了具有完全自主知识产权的新型异质结电池铜电镀设备。2023.01铜栅线HJT电池VDI电镀解决方案与国电投新能源签署《战略合作框架协议》，就铜栅线HJT电池VDI电镀解决方案建立全方位战略合作，推进铜栅线HJT电池技术。2023.02-03铜栅HJTVDI电镀设备2月28日，向国电投新能源提供的铜栅异质结VDI电镀设备顺利进场，第一阶段设备可行性验证结果超预期。3月进行第二阶段验证，整线跑通，收集并优化量产数据。目前第二阶段测试各项指标已基本达到协议指标，将进一步合作并优化方案。2023.06单体GW级铜电镀设备罗博特科单体GW级太阳能电池铜电镀设备RTA-CPH-4000/24000向光伏头部客户顺利出货。设备产能将从600MW提升至1GW，占地面积减少了20%，适用于HJT、XBC等多种工艺。2023.08-09单体GW级铜电镀设备8月初完成了首次工艺验证，第一片铜栅线电池片顺利下线，标志着单体GW级太阳能电池铜电镀设备项目已取得了阶段性胜利。随着A级良率数据的不断提升，目前已初步完成了第一阶段工艺验证工作。9月初开始，单体GW级铜电镀设备项目将进入量产爬坡阶段，力争在2023Q3成功建成行业内首条大产能太阳能电池铜电镀生产线。芯碁微装2023.04光伏电池光刻设备2023年4月，芯碁微装太阳能电池光刻设备量产机型（SDI-15H）成功发运光伏龙头企业。此次发货的设备为2022年9月设备首机的升级机型，适用于高效太阳能电池光刻图形化工艺的量产应用。2023.05N型电池铜电镀装备线芯碁微装与海源复材、广信材料签署《高效率低成本N型电池铜电镀金属化技术战略合作协议》，将形成成套N型电池铜电镀装备线与金属化方案，合作促进该技术方案的规模化生产应用。2023.06光伏电池光刻设备6月19日，芯碁微装海外光伏客户签订的太阳能电池光刻设备顺利发运，设备产能≥8000wph，光刻解析精度优于10μm，具备高精度图层对位功能，优异性能助力客户在电池新技术的量产应用。资料来源：公司公告，公司官微，SOLARZOOM，索比光伏网，平安证券研究所3.2预计到2025-2026年，光伏电镀铜设备市场空间有望达到34-72亿元。从银浆降本迫切性来看，电镀铜工艺短期将主要应用HJT和XBC电池领域，后续有望逐步向TOPCon电池导入。HJT电池利用本征非晶硅层将衬底与两侧掺杂非晶硅层完全隔开，通过高效钝化提升效率；2022年以来，华晟、日升、爱康、明阳、国电投等新老光伏企业积极参与HJT布局，近期设备材料端降本增效提速，预计2023-2026年HJT电池扩产规模分别有望达到50GW、90GW、150GW、200GW，HJT电池电镀铜工艺市场渗透率分别有望达到2%、9%、23%、45%。XBC电池凭借正面无栅线的电池结构，具有高效和美观的多重溢价；随着隆基、爱旭等龙头企业带动效应显现，以及多家布局BC技术的光伏企业经济性逐步优化，叠加XBC双面电池组件的推出助力拓展应用场景，该技术有望在分布式与集中式领域均具竞争优势，并进一步促进无银化金属电极技术推广。预计2023-2026年XBC电池扩产规模分别将达到30GW、50GW、70GW、100GW，XBC电池电镀铜工艺市场渗透率分别有望达到3%、8%、15%、30%。当前，电镀铜图形化设备价值量约4000万/GW（其中曝光机约2000万/GW），电镀设备约4000-5000万/GW，叠加种子层PVD设备及其他工艺和自动化设备，电镀铜整线设备价值量约1.4-1.5亿元/GW。预计到2025年电镀铜量产化应用时整线设备价值量或降至0.75亿元/GW，随着设备、工艺、材料等进一步成熟优化，2026年电镀铜整线设备价值量或降至0.6亿元/GW。考虑到电镀铜工艺在HJT和XBC技术路线上的市场渗透率逐步提升，2025年-2026年，电镀铜设备市场空间有望达到约34-72亿元。请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告18/24图表29电镀铜设备市场空间测算电镀铜设备市场空间测算20222023E2024E2025E2026EHJT年度新增扩产（GW）305090150200HJT电池电镀铜工艺渗透率（%）2%9%23%45%铜电镀工艺HJT电池扩产（GW）1834.590XBC年度新增扩产（GW）25305070100XBC电池电镀铜工艺渗透率（%）3%8%15%30%铜电镀工艺XBC电池扩产（GW）1410.530电镀铜工艺光伏电池年度扩产（GW）21245120电镀铜设备单GW价值量（亿元/GW）1.81.41.050.750.6曝光显影图形化设备单GW价值量（亿元/GW)0.40.30.250.2电镀设备单GW价值量（亿元/GW)0.50.40.30.2PVD等其他工艺和自动化设备单GW价值量（亿元/GW)0.50.350.20.2电镀铜设备市场空间（亿元）2.712.733.872.0曝光显影图形化设备市场空间（亿元)0.83.611.324.0电镀设备市场空间（亿元)1.04.813.524.0PVD等其他工艺和自动化设备市场空间（亿元)1.04.29.024.0资料来源：InfoLink，中国光伏行业协会，迈为股份，芯碁微装，太阳井新能源，索比光伏网，平安证券研究所四、投资建议4.1建议关注电镀铜工艺相关设备、材料、电池组件端投资机会光伏电池金属化环节银浆耗量大、成本高企，已经成为制约HJT等N型电池产业化提速的痛点之一，行业迫切需要创新金属化工艺实现降本增效。2022年以来，铜电镀工艺作为完全无银化的金属化技术发展提速，相较银浆丝网印刷，铜电镀具备更低的银浆成本、更优的导电性能、更好的塑性和高宽比，有望替代高银耗的丝印技术进一步提高电池效率和降低银浆成本，助力HJT和XBC电池降本增效和规模化发展。建议相关领域投资布局围绕三条主线：1、关注电镀铜图形化、电镀及整线设备厂商：电镀铜设备需持续降本增效，伴随中试验证与量产导入逐步加速，设备市场空间有望进一步打开，建议关注图形化设备厂商如芯碁微装、苏大维格、帝尔激光等，电镀设备厂商如罗博特科、迈为股份、东威科技等。2、关注电镀铜工艺材料厂商：电镀铜规模化发展、经济性优化需要上下游产业链的供应配合和降本提效协同，建议关注湿膜及光刻胶材料企业广信材料。3，关注头部XBC及HJT电池组件企业：N型高效电池组件已经成为光伏厂商差异化竞争和盈利提升的重要抓手，无银化电镀铜技术有望助力电池组件企业降本增效、提升业绩弹性，建议关注布局和储备电镀铜工艺的头部XBC及HJT电池组件企业隆基绿能、爱旭股份、通威股份、东方日升等。图表30光伏电镀铜工艺相关厂商梳理产业链环节设备企业产品特性及产业化进度设备环节图形化帝尔激光XBC电池电镀铜激光干法刻蚀和图形化设备已实现量产出货。芯碁微装光伏直写光刻设备，适用于HJT、XBC等多类电池路线，量产机型SDI-15H已于23年4月成功发运光伏龙头企业，具备高精度解析（15μm+），高精度图案对位（＜10μm），高速加工能力（单轨道≥6000半片/小时）等优异性能。请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告19/24非直写光刻技设备，SPE-10H机型已于23年6月顺利交付海外客户端，具备产能≥8000wph（单轨），光刻解析精度优于10μm等优势。苏大维格公司已在开发多代投影扫描式的光刻图形化设备，并已开始向下游客户验证。电镀罗博特科插片式电镀，可双面电镀，单线14000整片/小时，破片率＜0.02%，占地面积小。单体GW级铜电镀设备进入量产爬坡阶段，力争在2023Q3建成行业内首条大产能生产线。预计在2023Q3末完成对图形化方案的内部可行性实验评估。迈为股份今年底前将有电镀铜中试线在客户端运行，年底或明年初出片。东威科技垂直连续电镀，推进第二代量产，正在研制第三代设备，将拥有产能规模大（8000片/小时以上）、破片率低（小于0.1%）、均匀性好、高效节能等优势。材料环节湿膜/光刻胶广信材料布局电镀铜图形化工艺中的光伏感光胶，研发进度有序推进，目前正处于与多家相关电池组件头部企业及设备企业对接、送样及测试过程中。电池组件XBC/HJT隆基绿能光伏组件龙头，明确BC技术路线，HPBC、TBC、HBC各有优势，未来有望通过电镀铜工艺推动BC路线无银化发展。通威股份光伏电池龙头，公司全面布局TOPCon、HJT、XBC、钙钛矿/硅叠层电池技术，积极推进电镀铜技术应用验证。东方日升头部HJT电池组件企业，通过布局0BB技术、低银浆料、电镀铜等多种技术促进HJT金属化降本。爱旭股份头伏电池龙头，主要布局ABC电池组件，积极推进BC路线无银化技术量产。资料来源：公司公告，公司官微，索比光伏网，平安证券研究所4.2罗博特科罗博特科是一家研制高端自动化装备和基于工业互联网技术的智能制造执行系统软件（R2Fab）的高新技术企业，公司主要为光伏、电子及半导体等领域，提供工业自动化设备及R2Fab执行系统软件和高效电池解决方案，目前公司产品主要应用于光伏电池领域。当前，公司已逐步切入光伏清洗和铜互联等光伏电池工艺设备业务领域，同时通过牵头财团收购德国ficonTEC迅速进入光电子（硅光模块）、半导体高端装备行业，有望将公司打造为“清洁能源+泛半导体”双主业发展模式。2022年以来，随着下游TOPCon高效电池技术路径的快速渗透，对光伏电池自动化设备的需求迎来了快速增长，公司凭借持续领先的产品和技术优势，取得了TOPCon占比较高的订单量。截至公司2023年中报披露日，尚未确认收入的在手订单金额约14.02亿元。2023年上半年，公司实现营业收入62775.39万元，同比增长81.26%，归母净利润约1538.05万元，同比增长158.61%，结合公司在手订单情况，预计2023年全年营收规模亦将实现大幅增长。公司注重剥离部分低毛利率的业务，加强精细化预算管理控制，并推动新品的市场导入和推广工作，包括迅速切入光伏湿法工艺设备业务领域，加速晶圆清洗、涂胶、显影半导体设备、铜电镀设备的客户验证及产业化进程，未来新品有望为公司带来新的利润增长点。图表31罗博特科营收和净利润及同比增速（亿元，%）图表32罗博特科近年毛利率与净利率情况（%）资料来源：Wind，平安证券研究所资料来源：Wind，平安证券研究所公司持续加码研发投入，一方面针对现有光伏自动化优势业务，公司加强了对高产能TOPCon制绒、刻蚀、扩散、管式PECVD、板式ALD、管式ALD自动化设备开发研究；另一方面加大对太阳能铜电镀整体解决方案（包括铜电极制备和图形化制备）的研发投入。公司铜电镀方案适用于HJT和BC电池工艺，2023年上半年公司与国电投新能源合作进展顺利，设备第二阶段测试的各项指标已基本达到协议指标；公司还成功推出了单体GW级太阳能电池铜电镀设备，实现了单线产能从600MW-200%-120%-40%40%120%200%(3)036912201820192020202120222023H1营业总收入归母净利润营收同比增速净利润同比增速-20%0%20%40%销售毛利率销售净利率请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告20/24到1GW的提升，同时可减少20%的单线占地面积，适用于HJT、BC等N型电池工艺路径，已向光伏头部客户完成出货和安装调试，随着A级良率数据的不断提升，目前双方已初步完成了第一阶段工艺验证工作，9月初开始单体GW级太阳能电池铜电镀设备项目将进入量产爬坡阶段，力争在2023Q3成功建成行业内首条大产能太阳能电池铜电镀生产线。同时，公司在逐步推进图形化领域的研究和开发，预计在2023Q3末完成对图形化方案的内部可行性实验评估，力求推出更具竞争优势的非曝光方案，从量产经济性方面提高公司设备竞争力。图表33罗博特科主营业务占比及相应毛利率情况（%）图表34罗博特科研发费用及研发费用率情况（亿元，%）资料来源：Wind，平安证券研究所资料来源：Wind，平安证券研究所4.3东威科技东威科技是全球领先的电镀设备制造商，主要从事高端精密电镀设备及配套设备的研发、设计、生产及销售，目前产品主要面向PCB电镀、通用五金电镀、新能源电镀等领域。公司垂直连续电镀设备在中国的市场占有率在50%以上，水平镀设备（三合一）打破国外厂商的垄断。在通用五金电镀领域，公司产品有五金连续镀设备和龙门设备，订单持续增长。在新能源电镀领域，公司实现新能源镀膜设备（“卷式水平膜材电镀设备”）规模量产，可广泛用于动力电池、储能电池、3C电子电池等领域，框架协议转订单及新增订单持续增加中；作为光伏镀铜领域的先行者，公司继续量产第二代光伏镀铜设备，目前已有客户在洽谈中，同时第三代光伏镀铜设备基本制作完成已处于调试阶段，场内调试完成后将发货至客户处。公司加强开拓市场、拓展新领域、扩大销售，2023年上半年公司实现营业收入约4.99亿元，同比增长21.16%，归母净利润1.02亿元，同比增长9.77%，业绩稳步增长。根据公司发布的投资者关系活动记录表（2023.8.25），上半年由于部分设备逐渐发力贡献收入且处于增长趋势中，带动公司收入产品结构发生变化。其中，PCB领域设备占比出现较大程度的下滑，占比在30%左右；通用五金领域设备增长较快，上升到20%左右，较以往年度表现较好；新能源领域设备占比大幅上升，达到40%左右，均为水电镀设备，其他新能源设备（如第三代光伏设备、24靶磁控溅射设备）尚在场内调试。图表35东威科技营收和净利润及同比增速（亿元，%）图表36东威科技近年毛利率与净利率情况（%）资料来源：Wind，平安证券研究所资料来源：Wind，平安证券研究所70.5%74.0%59.6%84.6%73.2%92.9%0%10%20%30%40%50%0%25%50%75%100%201820192020202120222023H1其他业务其他主营业务智能制造系统自动化设备自动化设备毛利率，右轴智能制造系统毛利率，右轴0%5%10%15%20%00.20.40.60.8201820192020202120222023H1研发费用研发费用率0%20%40%60%80%100%036912201820192020202120222023H1营业总收入归母净利润营收同比增速净利润同比增速0%20%40%60%销售毛利率销售净利率请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告21/24公司坚持高端电镀设备及其配套设备的自主研发与创新，2023年上半年，公司研发投入约3941万元，同比增长30.86%，占营业收入比例约7.9%。光伏电镀铜领域，公司垂直连续电镀设备为国内外首创，公司继续量产第二代设备，第三代光伏镀铜设备基本制作完成，场内调试后将发货至客户处，其将拥有产能规模大（8000片/小时以上）、破片率低（小于0.1%）、均匀性好、高效节能、清洁环保等优势。图表37东威科技主营业务占比及相应毛利率情况（%）图表38东威科技研发费用及研发费用率情况（万元，%）资料来源：Wind，平安证券研究所资料来源：Wind，平安证券研究所4.4芯碁微装芯碁微装是国内领先的直写光刻设备厂商，其直写光刻设备主要应⽤于PCB领域线路层及阻焊层曝光环节，以及泛半导体领域IC封装、先进封装、FPD面板显示、IC掩模版制版、IC制造等环节，自2022年公司向引线框架、新型显示及新能源光伏领域进军，持续横向拓展直写光刻设备多场景应用。2023年上半年，得益于新老业务的齐头并进，公司收入规模持续增长，出口订单表现良好；上半年公司实现营业收入31865.99万元，同比增长24.89%，归属于上市公司股东的净利润7267.42万元，同比增长27.84%，毛利率与净利率同比分别提升2.84和0.53个百分点。图表39芯碁微装营收和净利润及同比增速（亿元，%）图表40芯碁微装近年毛利率与净利率情况（%）资料来源：Wind，平安证券研究所资料来源：Wind，平安证券研究所公司注重自主研发创新，2023年上半年研发投入约3885万元，占营业收入比例12.19%，重点覆盖八大核心技术，并积极推动电镀铜光刻图形化技术在光伏电池领域的产业化应用，目前已和多家电池头部企业开展积极合作。公司现有设备包括SDI系列/SPE系列，其中SDI系列产品为光伏直写光刻设备，适用于HJT、XBC等多类电池路线，其量产机型SDI-15H已于2023年4月成功发运光伏龙头企业，该设备采用多光学引擎并行扫描技术，具备高精度解析（15μm+），高精度图案对位（＜10μm），高速加工能力（单轨道≥6000半片/小时）等优异性能，且加工过程具有无接触无污染、无激光损伤、无掩模版耗用等优势。SPE系列为非直写光刻技术解决方案，SPE-10H机型已于2023年6月顺利交付海外客户端，具备产能≥8000wph（单轨），光刻解析精度优于10μm，设备的成功交付标志公司在光伏电池领域应用不断成熟并获得国内外企业客户的认可。78.2%88.2%85.1%81.4%65.9%0%20%40%60%80%100%0%25%50%75%100%20182019202020212022其他滚镀类设备龙门式电镀设备卷式水平膜材电镀设备垂直连续电镀设备垂直连续电镀设备毛利率，右轴卷式水平膜材电镀设备毛利率，右轴龙门式电镀设备毛利率，右轴5%6%7%8%9%10%0200040006000800010000201820192020202120222023H1研发费用研发费用率0%100%200%300%400%02468201820192020202120222023H1营业总收入归母净利润营收同比增速净利润同比增速0%20%40%60%80%销售毛利率销售净利率请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告22/24图表41芯碁微装主营业务占比及相应毛利率情况（%）图表42芯碁微装研发费用及研发费用率情况（亿元，%）资料来源：Wind，平安证券研究所资料来源：Wind，平安证券研究所4.5广信材料广信材料致力于各类高性能光刻胶、涂料等光固化领域电子化学品的研发、生产和销售，是国内领先的PCB光刻胶、消费电子外观结构件涂料制造企业。当前，公司基于PCB光刻胶的优势基础上，积极向外延伸至平板显示光刻胶、半导体光刻胶及配套材料，后续公司将进一步加大对光伏绝缘胶、光伏感光胶、新能源汽车内外饰涂料、功能膜材涂料和印铁涂料等产品的研发投入和市场推广，助力提升公司新的利润增长点。2023年上半年，公司原有PCB光刻胶等光刻胶业务发展稳健，光伏绝缘胶等太阳能光伏材料领域新产品开始逐渐放量，实现各类光刻胶及配套材料营业收入为1.5亿元；受宏观环境、消费电子行业需求波动因素影响，上半年公司涂料销售收入同比下降31.13%；公司归母净利润1989.05万元，同比实现扭亏并大幅增长227.57%，通过资源整合和有效管理，公司毛利率和净利率均较上年同期有所提升。公司今年着重加快龙南基地建设和验收工作，逐步改善多基地运营成本和亏损资产拖累问题，该项目建成投产后，将实现年产5万吨电子材料及配套材料的生产能力，今年或有部分产品达到试生产的条件。图表43广信材料营收和净利润及同比增速（亿元，%）图表44广信材料近年毛利率与净利率情况（%）资料来源：Wind，平安证券研究所资料来源：Wind，平安证券研究所光伏领域，公司前瞻性研发布局光伏绝缘胶、感光胶、封装胶、抗蚀刻胶、抗电镀胶等多个新工艺新产品。BC类背接触电池背面指交叉状的p区和n区相对容易漏电，需规避焊带和正负级接触短路，公司光伏绝缘胶产品可满足BC电池组件的绝缘保护等需求，目前已在下游太阳能光伏电池组件企业实现销售并快速增长，成为主要供应商。公司的光伏感光胶主要开发应用于光伏铜电镀图形化工艺中，研发进度正有序推进中，目前正在与多家相关电池组件头部企业及设备企业对接、送样及测试过程中。光伏封装胶方面，公司产品主要用于0BB点胶、UV串胶焊带粘接及电池片保护等作用，可适用于XBC、HJT、钙钛矿叠层等光伏电池工艺组件，已在多家下游太阳能电池组件企业进行测试。2023H1公司光伏板块实现收入约1000万元左右，目前月销售量根据下游需求释放爬坡至数百万级，目前光伏用胶收入占公司整体营业收入未达10%，占比仍较小。60%95%91%84%81%0%20%40%60%80%100%0%25%50%75%100%20182019202020212022其他租赁及其他泛半导体PCBPCB毛利率，右轴泛半导体毛利率，右轴0%5%10%15%20%25%00.20.40.60.81201820192020202120222023H1研发费用研发费用率-400%-200%0%200%400%(6)(2)2610201820192020202120222023H1营业总收入归母净利润营收同比增速净利润同比增速-80%-60%-40%-20%0%20%40%60%销售毛利率销售净利率请通过合法途径获取本公司研究报告，如经由未经许可的渠道获得研究报告，请慎重使用并注意阅读研究报告尾页的声明内容。电力设备及新能源·行业深度报告23/24图表45广信材料主营业务占比及相应毛利率情况（%）图表46广信材料研发费用及研发费用率情况（亿元，%）资料来源：Wind，平安证券研究所资料来源：Wind，平安证券研究所五、风险提示1、市场需求不及预期的风险。光伏需求受电力消纳、海外贸易政策、产业链上游产品价格等因素影响，若下游需求放缓，或影响新型电池扩产与电镀铜设备出货进度。2、电镀铜技术成熟度不及预期的风险。电镀铜工艺目前尚未完全成熟，且技术路线尚未明确定型，未来设备降本进度、提效水平及可靠性情况仍待下游数据验证，若某条技术路线优化不及预期，或影响电池组件厂商规模化导入进度；3、银包铜及0BB/NBB的量产应用使电镀铜导入迫切性下降。当前HJT电池正在加速导入银包铜+0BB/NBB应用，若该工艺降本增效进度持续超预期，使电镀铜性价比优势不够明显，或影响电镀铜大规模量产进度。4、电镀铜技术竞争格局恶化的风险。当前图形化及电镀环节的技术路线多元，且均在加快推进客户端导入验证，激烈的竞争环境或使电镀铜设备材料企业盈利中枢下行。47%35%37%57%62%62%0%10%20%30%40%50%0%25%50%75%100%201820192020202120222023H1其他业务新能源材料专用涂料专用油墨/PCB光刻胶及配套材料专用涂料毛利率，右轴专用油墨/PCB光刻胶及配套材料毛利率，右轴0%2%4%6%8%10%00.20.40.6201820192020202120222023H1研发费用研发费用率平安证券研究所投资评级：股票投资评级:强烈推荐（预计6个月内，股价表现强于市场表现20%以上）推荐（预计6个月内，股价表现强于市场表现10%至20%之间）中性（预计6个月内，股价表现相对市场表现在±10%之间）回避（预计6个月内，股价表现弱于市场表现10%以上）行业投资评级:强于大市（预计6个月内，行业指数表现强于市场表现5%以上）中性（预计6个月内，行业指数表现相对市场表现在±5%之间）弱于大市（预计6个月内，行业指数表现弱于市场表现5%以上）公司声明及风险提示：负责撰写此报告的分析师（一人或多人）就本研究报告确认：本人具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格。平安证券股份有限公司具备证券投资咨询业务资格。本公司研究报告是针对与公司签署服务协议的签约客户的专属研究产品，为该类客户进行投资决策时提供辅助和参考，双方对权利与义务均有严格约定。本公司研究报告仅提供给上述特定客户，并不面向公众发布。未经书面授权刊载或者转发的，本公司将采取维权措施追究其侵权责任。证券市场是一个风险无时不在的市场。您在进行证券交易时存在赢利的可能，也存在亏损的风险。请您务必对此有清醒的认识，认真考虑是否进行证券交易。市场有风险，投资需谨慎。免责条款：此报告旨为发给平安证券股份有限公司（以下简称“平安证券”）的特定客户及其他专业人士。未经平安证券事先书面明文批准，不得更改或以任何方式传送、复印或派发此报告的材料、内容及其复印本予任何其他人。此报告所载资料的来源及观点的出处皆被平安证券认为可靠，但平安证券不能担保其准确性或完整性，报告中的信息或所表达观点不构成所述证券买卖的出价或询价，报告内容仅供参考。平安证券不对因使用此报告的材料而引致的损失而负上任何责任，除非法律法规有明确规定。客户并不能仅依靠此报告而取代行使独立判断。平安证券可发出其它与本报告所载资料不一致及有不同结论的报告。本报告及该等报告反映编写分析员的不同设想、见解及分析方法。报告所载资料、意见及推测仅反映分析员于发出此报告日期当日的判断，可随时更改。此报告所指的证券价格、价值及收入可跌可升。为免生疑问，此报告所载观点并不代表平安证券的立场。平安证券在法律许可的情况下可能参与此报告所提及的发行商的投资银行业务或投资其发行的证券。平安证券股份有限公司2023版权所有。保留一切权利。平安证券研究所电话：4008866338深圳上海北京深圳市福田区益田路5023号平安金融中心B座25层上海市陆家嘴环路1333号平安金融大厦26楼北京市丰台区金泽西路4号院1号楼丽泽平安金融中心B座25层